[实用新型]静电发生工作台用的放电电极及静电发生工作台结构

说明书

本实用新型公开了一种静电发生工作台用的放电电极及静电发生工作台结构。所述静电发生工作台用的放电电极，包括电极主体以及设置在所述电极主体一侧的放电锯齿结构，其特征在于：所述放电锯齿结构包括至少一个三角形锯齿和至少一个梯形锯齿，所述三角形锯齿的第一底边与电极主体连接，所述梯形锯齿具有相对设置的第二底边和第三底边，所述第二底边与电极主体连接，且所述第二底边的长度大于第三底边的长度。本实用新型实施例提供的放电电极能够产生更大范围的电场，提供更多的载流子，从而提升驻极效果，同时三角形锯齿和梯形锯齿相互交替，形成复合电场，进一步增强驻极效果。

技术领域

本实用新型特别涉及一种静电发生工作台用的放电电极及静电发生工作台结构，属于机械技术领域。

背景技术

静电发生工作台式有高压电源和放电电极两者构成，当对电极施加高压时，电极下方的空气产生电晕电离，产生局部击穿放电，样品平放在接地的平板电极上，载流子受到电场的作用而沉积到样品表面，完成对样品的驻极。因此，对于样品的驻极效果优劣的影响主要在于载流子沉积在平板电极上样品的数量，即样品上载流子越多则驻极效果越好。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种静电发生工作台用的放电电极及静电发生工作台结构，以克服现有技术的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种静电发生工作台用的放电电极，包括电极主体以及设置在所述电极主体一侧的放电锯齿结构，所述放电锯齿结构包括至少一个三角形锯齿和至少一个梯形锯齿，所述三角形锯齿的第一底边与电极主体连接，所述梯形锯齿具有相对设置的第二底边和第三底边，所述第二底边与电极主体连接，且所述第二底边的长度大于第三底边的长度。

在一些较为具体的实施方案中，所述放电锯齿结构包括复数个三角形锯齿和复数个梯形锯齿，且所述三角形锯齿与梯形锯齿依次交替设置。

在一些较为具体的实施方案中，复数个三角形锯齿和复数个梯形锯齿位于同一直线上。

进一步的，所述梯形锯齿产生的电场范围大于三角形锯齿产生的电场范围。

进一步的，所述三角形锯齿形成的电场呈圆锥形结构，所述梯形锯齿形成的电场呈圆台状结构。

在一些较为具体的实施方案中，所述三角形锯齿的第一底边长度与梯形锯齿的第二底边长度相同，所述三角形锯齿的高度与梯形锯齿的高度相同。

在一些较为具体的实施方案中，所述三角形锯齿远离电极主体的尖端与梯形锯齿的第三底边位于同一水平线上。

在一些较为具体的实施方案中，所述三角形锯齿的第一底边的长度为0.1～1mm，高度为0.2～1.5mm；所述梯形锯齿的第二底边长度为0.1～1mm，第二底边长度为0.05～0.2mm，高度为0.2～1.5mm。

在一些较为具体的实施方案中，所述三角形锯齿与第一底边相对的顶角为锐角。

在一些较为具体的实施方案中，所述三角形锯齿为等腰三角形结构。

在一些较为具体的实施方案中，所述梯形锯齿为等腰梯形结构。

在一些较为具体的实施方案中，所述电极主体与放电锯齿结构一体设置。

本实用新型实施例还提供了一种静电发生工作台结构，包括电源、第一电极以及第二电极，所述第一电极与第二电极相对设置，且所述第一电极与电源电连接，所述第二电极接地，其中所述第一电极包括所述的静电发生工作台用的放电电极。