[实用新型]一种带真空传感器的显微镜

说明书

本实用新型公开了一种带真空传感器的显微镜，包括支架、安装板、底座、三通管和侧板，所述底座顶部固定安装有侧板，侧板的前端外表面固定安装支架，支架内部开设有滑槽，支架顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架的滑槽内滑动安装有第一滑块和第二滑块，支架的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，第一滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第一移动块的一侧连接，本实用新型结构简单，操作方便，在转运过程中能够检测到真空筒内的真空值，从而避免真空值过低而导致晶圆片掉落造成晶圆片损坏，减少了对工作人员的工作困扰。

技术领域

本实用新型涉及驱动芯片金凸块领域，具体是一种带真空传感器的显微镜。

背景技术

显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。主要用于放大微小物体成为人的肉眼所能看到的仪器。显微镜分光学显微镜和电子显微镜：光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1600倍，分辨的最小极限达波长的1/2，国内显微镜机械筒长度一般是160毫米，其中对显微镜研制，微生物学有巨大贡献的人为列文虎克、荷兰籍。

在对显微镜的使用过程中，需要使用到机械手臂对被观察物体进行拿取转运，在转运过程中，会使用到真空吸附，在真空吸附时，可能会因为真空值得不到标准而导致被观察物体掉落，从而造成被观察对象的损坏，给工作人员造成了一定的困扰。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带真空传感器的显微镜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种带真空传感器的显微镜，包括支架、安装板、底座、三通管和侧板，所述底座顶部固定安装有侧板，侧板的前端外表面固定安装支架，支架内部开设有滑槽，支架顶部与底部均设有与滑槽相通的开口，支架的滑槽内滑动安装有第一滑块和第二滑块，支架的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，第一滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第一移动块的一侧连接，第二滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第二移动块，第一电动伸缩杆的自由端与第二移动块的一侧连接，第一滑块的底部通过安装件贯穿开口固定安装有工作机箱，工作机箱的前端外表面固定安装有观察筒，工作机箱底部固定安装有倍镜筒，底座顶部设有腔体，腔体的内侧底部固定安装有聚光灯，腔体的顶部固定安装有透光镜，底座一侧固定安装有放置盒，第二滑块的底部通过安装件贯穿开口固定安装有安装板，安装板的底部固定安装有第三电动伸缩杆，第三电动伸缩杆的自由端固定安装有真空筒，真空筒底部固定安装有吸盘，真空筒的一侧固定安装有三通管，安装板底部固定安装有真空泵，真空泵的输出端固定安装有软管的一端，软管的自由端与三通管的一端连接，三通管内固定安装有真空传感器，安装板底部一侧固定安装有光纤传感器，底座前端外表面固定安装有控制器。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一移动块远离第一电动伸缩杆的一侧固定安装有位置传感器。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置盒内部固定安装有若干隔板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述三通管的远离真空泵的一端固定安装有单向阀。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制器分别与第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、光纤传感器、第三电动伸缩杆、位置传感器、真空传感器和单向阀电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：