[实用新型]一种自动供液系统

说明书

本实用新型提供了一种自动供液系统，包括储液柜，储液柜前面设有柜门，储液柜顶部设有排风口和设备接口，储液柜底部设有移动装置，储液柜内部设有储液罐，储液罐为多个，储液罐内部设有传感器，储液罐分别通过管路连接抽液泵一端，抽液泵另一端通过管路透过设备接口连接待清洗设备，储液柜顶部设有电控箱，电控箱表面设有显示屏，电控箱内部设有处理器，处理器分别电连接显示屏和传感器。本实用新型具有的有益效果为：结构简单，操作方便，集成度较好，自动化程度较高，采用多个储液罐分别供液，有效解决了生产过程中，因换液造成的停机问题。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种自动供液系统。

背景技术

近年来，随着电子产品的日益普及和更新，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内半导体产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。

在半导体的制造过程中，腐蚀工艺贯穿整个制作流程，发挥着重大作用。硅片、芯片等半导体部件在加工过程中，会用到多道药液处理工艺，为了保证半导体清洗干净且不污染下道工序，通常会进行多级水洗过程，从而将药液水清洗干净。

现有的供液系统大多结构比较简单，功能单一，适用于单一设备的供液系统，且存在供液间断、在供液过程中污染药液，硅片清洗不彻底等问题。结构复杂的供液系统，占地面积大，浪费空间，且造价成本高。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种供液系统；尤其是自动化程度高、供液效率高、且能够有效避免断液的自动供液系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自动供液系统，包括储液柜，所述储液柜前面设有柜门，所述储液柜顶部设有排风口和设备接口，所述储液柜底部设有移动装置，所述储液柜内部设有储液罐，所述储液罐为多个，所述储液罐内部设有传感器，所述储液罐分别通过管路连接抽液泵一端，所述抽液泵另一端通过管路透过所述设备接口连接待清洗设备，所述储液柜顶部设有电控箱，所述电控箱表面设有显示屏，所述电控箱内部设有处理器，所述处理器分别电连接所述显示屏和所述传感器。

进一步的，所述储液罐顶部一端设有出液口，所述储液罐顶部另一端设有提手，所述出液口处设有空气呼吸器，所述储液罐内部设有清洗道，所述空气呼吸器与所述清洗道通过所述出液口联通。

进一步的，所述储液罐通过气动阀连接所述抽液泵。

进一步的，所述气动阀包括驱动杆和手轮，所述驱动杆外部套有螺纹套，所述螺纹套外部垂直设有涡轮结构，所述涡轮结构连接所述手轮，所述驱动杆顶部设有限位装置，所述驱动杆底部设有活塞，所述活塞置于气缸内部，所述气缸上面设有上进气口，所述气缸下面设有下进气口。

进一步的，所述传感器为液位传感器和漏液传感器。

进一步的，所述柜门材质为透明材质。

进一步的，所述柜门通过铰接装置与所述储液柜连接。

进一步的，所述铰接装置为合页。

进一步的，所述移动装置为轨道和/或万向轮。

进一步的，所述排风口处安装有排风管道。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过设有多个储液罐，来实现分别、连续供液，每个储液罐独立工作，储液罐损坏或罐内溶液用尽的情况下，可任意更换其他储液罐，解决了因更换储液罐而造成停机的问题，提高了生产效率，节省了人工成本。

2、本实用新型将多个储液罐高度集装在一个储液柜内，相较于同类装置具有更高的集成度，占地面积小，使用方便，节省了空间，造价成本低。