[实用新型]一种去胶腔体排液装置

说明书

本实用新型公开了一种去胶腔体排液装置，包括一连接去胶腔体的排液管和上下设置于所述排液管上的第一阀门和第二阀门，于所述第一阀门和所述第二阀门之间还设置有液位检测装置，所述第一阀门、所述第二阀门和所述液位检测装置受控于一排液管开合自动控制装置，所述排液管开合自动控制装置能够根据所述液位检测装置传送的所述排液管内的液位情况，控制所述第一阀门和所述第二阀门的开合状态，进而实现对所述排液管的液体收集、排放的自动控制，本实用新型结构简单，能够根据排液管内的液体容量情况，自动进行液体收集或排液操作，减小了在排液过程中人为接触有毒液体的风险，提高了排液操作的便利性。

技术领域

本实用新型涉及一种排液装置，尤其涉及一种应用于化学机械研磨领域的去胶腔体排液装置。

背景技术

化学机械研磨的去胶工艺需要在专用的去胶腔体中进行，去胶过程通常需要水蒸气作为制程气体，而在去胶过程中，部分水蒸气液化后滞留在与去胶腔体连接的排液管内，由于这些滞留在排液管内的液体具有强酸性，所以为了确保去胶腔体的去胶效果，需要对排液管进行定期排液操作。

请参照图1，为了方便对排液管进行排液操作，现有技术中的应用于去胶工艺的排液管上上下设置有两个阀门，需要收集液体时，人为打开排液管上方的阀门，关闭排液管下方的阀门，让液化后的水蒸气流入到排液管中；需要排液时，请参照图2，则关闭排液管上方的阀门以阻止液化后的水蒸气继续流入到排液管中，然后打开排液管下方的阀门，让排液管中滞留的液体排出。

上述排液方法全过程都需要通过人为操作进行，然而经液化后的制程气体通常具有强酸性、挥发性，甚至具有毒性，所以在整个排液过程中，工作人员需要格外小心，谨慎操作，给排液工作带去麻烦。

实用新型内容

鉴于上述存在的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能够根据排液管内的液体容量，自动控制排液管开合状态的去胶腔体排液装置，以解决上述技术问题。

本实用新型解决其技术问题采取的技术方案是，提供一种去胶腔体排液装置，包括一连接去胶腔体的排液管和上下设置于所述排液管上的第一阀门和第二阀门，于所述第一阀门和所述第二阀门之间还设置有液位检测装置。

于本实用新型的一种优选方案中，所述第一阀门设置于所述第二阀门的上方位置。

于本实用新型的一种优选方案中，所述第一阀门和所述第二阀门均包括电磁阀。

于本实用新型的一种优选方案中，所述液位检测装置靠近所述第一阀门设置而远离所述第二阀门。

于本实用新型的一种优选方案中，所述液位检测装置包括液位检测传感器。

于本实用新型的一种优选方案中，所述排液管上还开设有一制程排气口，所述制程排气口开设于所述第一阀门的上方位置。

于本实用新型的一种优选方案中，所述的去胶腔体排液装置还包括一排液尾管，所述排液尾管连接所述排液管的排液口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是，通过将设置于排液管上用于开合排液管的传统阀门替换为电磁阀等自动控制阀门，并在第一阀门和第二阀门上下两个阀门之间设置液位检测装置，当上下两个阀门之间的液体液位达到预设的液位高度时，与液位检测装置以及上下两个阀门电性连接的排液管开合自动控制装置即根据液位检测装置检测到的液位信息按照预设的控制方法控制上下两个阀门的开合状态，实现了对排液管收集、排放液体的全自动控制，减小了人为接触有毒液体的风险，提高了排液操作的便利性。

附图说明

图1是现有技术中的去胶腔体排液装置中的排液管收集液体的示意图；

图2是现有技术中的去胶腔体排液装置中的排液管排放液体的示意图；

图3是本实用新型实施例一提供的去胶腔体排液装置的结构示意图；