[实用新型]一种晶棒旋转检测台有效

专利信息
申请号: 201821874734.2 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209132169U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 刘效斐 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01B21/02
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 滚筒 晶棒 台面 旋转装置 滚动 搬运 检测 旋转检测台 升降装置 检测台 种晶 周转 本实用新型 测量过程 长度检测 检测装置 平行分布 人工成本 水平旋转 外观检测 万向轮 翻转 直立 扭伤 测量
【权利要求书】:

1.一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,其特征在于:所述检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,所述滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,所述第一滚筒与所述第二滚筒平行分布,所述检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,所述升降装置包括顶架和底架,所述顶架与所述底架均为方形框,所述顶架两条平行边一端部对应设有第一条形槽,所述顶架两条平行边另一端部对应设有第一连接孔,所述底架两条平行边一端部对应设有第二条形槽,所述底架两条平行边另一端部对应设有第二连接孔,所述连接架包括X机构,所述X机构包括两组平行对应分布的X形杆和中部连接杆,所述中部连接杆两端分别连接两组X形杆中部,所述两组X形杆顶部两端分别连接第一条形槽和第一连接孔,所述两组X形杆底部两端分别连接第二条形槽和第二连接孔,所述底架底部设有万向轮。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述滚动滚筒包括滚筒轴和筒体,所述筒体置于所述滚筒轴外表面中心处,所述滚筒轴与所述筒体同轴心,所述滚筒轴两端长于所述筒体。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测台面上设有连接板,所述连接板与所述检测台面垂直分布,所述连接板上设有连接孔,所述滚筒轴置于所述连接孔内,所述连接板分别置于所述滚动滚筒两端。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述连接孔内设有轴承,所述滚筒轴置于所述轴承内。

5.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述X机构为多组,所述X机构之间通过两侧连接杆连接,所述两侧连接杆两端分别连接两组所述X形杆的顶部和所述X形杆的底部,所述两侧连接杆与所述中部连接杆平行分布,所述两侧连接杆中部设有螺纹孔,所述螺纹孔与丝杠配合连接,所述丝杠连接驱动机构。

6.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述顶架上设有顶板,所述顶板上表面设有第一凹槽,所述检测台面底部设有第二凹槽,所述旋转装置包括旋转轴,所述凹槽内设有轴承,所述旋转轴置于所述轴承内。

7.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述万向轮包括支架、滚轮、支架座和刹车装置,所述滚轮安装在所述支架上,所述支架安装在所述支架座上,所述支架座上设有刹车装置,所述支架座连接所述底架。

8.根据权利要求1至4任一所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测装置包括外观检测装置和/或长度测量仪。

9.根据权利要求5所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述驱动机构为动力电机。

10.根据权利要求6所述的一种晶棒旋转检测台,其特征在于:所述检测台面为方形板。

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