[实用新型]一种用于检测物体的装置有效
| 申请号: | 201821847790.7 | 申请日: | 2018-11-13 |
| 公开(公告)号: | CN209432686U | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
| 发明(设计)人: | 胡冰峰 | 申请(专利权)人: | 康代影像科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 成像透镜 会聚 固定框 从动同步带轮组 主动同步带轮组 本实用新型 伺服电机 下固定板 散射器 丝杆 轴套 准直透镜阵列 辅助光源 皮带连接 区域距离 上固定板 照明路径 聚透镜 主光源 检测 螺纹 固设 上板 放大 镶嵌 穿过 自由 配合 检查 | ||
本实用新型公开了一种用于检测物体的装置,包括:主光源、照明路径成像透镜、第一散射器、辅助光源、准直透镜阵列、第一合聚透镜、第二散射器、会聚路径以及用于调节会聚路径成像透镜到该区域距离的调节机构,其中调节机构包括截面为[型的固定框、固设于固定框的上板下方的伺服电机、与伺服电机连接的主动同步带轮组、与主动同步带轮组通过皮带连接的从动同步带轮组、设置于从动同步带轮组内并的轴套以及与轴套通过螺纹配合的丝杆,丝杆穿过固定框而分别与上固定板和下固定板连接,下固定板外侧镶嵌会聚路径成像透镜。本实用新型所包含的调节机构可以自动、自由地调节会聚路径成像透镜到被检查的物体的距离,从而可得到适合的放大倍数。
技术领域
本实用新型涉及一种用于检测物体的装置,特别用在检查电路的光学检测系统中。
背景技术
光学检查系统可通过照亮被检查的物体并且处理响应于照明生成的图像,检测被检查物体(例如,印刷电路板、晶片、掩膜和光掩膜)内的缺陷。
用于印刷电路板的光学检查系统必须区分材料。例如,这些系统必须区分用不同材料制成的绝缘体和导体。绝缘体和导电材料的每种组合需要特定的照明条件以便获得最好的图像对比度。
典型的印刷电路板检查系统使用基于行的扫描,该扫描涉及用一行光线在印刷电路板上进行扫描。行照明没有以对称的方式照亮零件。为了克服上述缺陷,现有技术中公开了申请号为200680038474.9的用于检查物体的设备和方法,提供一种以径向对称的方式照亮零件的系统。该检查物体的方法中,会聚路径成像透镜可被设置成更靠近被检查的物体,从而可得到更大的放大倍数。然而目前都是手动地移动成像透镜到被检查的物体的距离,因而费时费力。
实用新型内容
为克服现有技术的不足,本实用新型公开了。
为实现上述目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
本实用新型实施例公开了一种用于检测物体的装置,包括:一个主光源,其后依次是适于使一个主光束指向被检查物体的一个区域的一个照明路径成像透镜和第一散射器;
一个辅助光源,其后依次是适于使一个辅助光束指向所述区域的一个准直透镜阵列、一个第一合聚透镜和一个第二散射器;
其中该主光束和辅助光束照亮所述区域,使得所述区域的成像部分内的每个点基本都在以基本均匀的强度为特征的大角度范围上被照亮;
包含分束器、会聚路径成像透镜和成像相机的会聚路径;
其中所述分束器被放置在所述区域和会聚路径成像透镜之间;并且其中该准直透镜阵列限定了该主光束穿过其传播的中心孔;
用于调节会聚路径成像透镜到该区域距离的调节机构;
其中所述调节机构包括截面为[型的固定框、固设于所述固定框的上板下方的伺服电机、与所述伺服电机连接的主动同步带轮组、与所述主动同步带轮组通过皮带连接的从动同步带轮组、设置于所述从动同步带轮组内并与所述从动同步带轮组固定连接的轴套以及与所述轴套通过螺纹配合的丝杆,所述丝杆穿过所述固定框的上板和下板而分别与上固定板和下固定板连接,所述下固定板向外侧延伸出具有用于镶嵌所述会聚路径成像透镜的安装通孔的延伸部。
作为本实用新型的优选方案之一,该用于检测物体的装置包括以引导所述丝杆上下移动的导向机构。
进一步优选的,所述导向机构包括设置于所述固定框的上板和下板之间的导套、以及设置于所述导套内的导柱,所述导柱的两端分别与所述上固定板和下固定板固定连接。
更进一步优选的,所述固定板的上板和下板之间固设有保护壳,所述导套设置于所述保护壳内。
更进一步优选的,所述导向机构包括三对所述导套和导柱,三对所述导套和导柱均匀地围绕所述丝杆排布。
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