[实用新型]一种安放稳固的天然气退火炉

说明书

本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种安放稳固的天然气退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体的正面固定安装有控制箱，所述退火炉主体的右侧固定安装有支撑座。该安放稳固的天然气退火炉，通过连接座和支撑柱上分别设置有螺纹孔与限位孔，螺杆通过贯穿螺纹孔与限位孔将支撑柱固定在连接座的内部，支撑柱上设置有八个限位孔，使用者可以根据地形调整每一个支撑柱的位置，调整好后通过螺杆和螺帽将支撑柱和连接座固定好，使退火炉主体可以在多种地形稳固安放，通过四个支撑脚的表面均设置有四个固定孔，便于使用者通过向固定孔打膨胀螺丝，加强与地面的固定，到达了安放稳固的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种安放稳固的天然气退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，天然气退火炉是周期性作业炉，节能效果达到 65％左右，台车装有采用防撞击软密封结构，炉门装有弹簧锁紧机构，自动密封台车和炉门，应用于高锰钢铸件、不锈钢、高铬铸件、碳钢、球墨铸铁、轧辊和钢球等机械零件的淬火和退火时使用。

目前市场上的天然气退火炉，节能效果强，工作能力出众，逐渐成为退火炉的首选，深受使用者的喜爱，然而在使用过程中，因其自身结构固定，对安放场地有一定的要求，不能根据工作场地调整安放状态，给天然气退火炉的使用带来一定局限性，故而提出一种安放稳固的天然气退火炉解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种安放稳固的天然气退火炉，具备安放稳固等优点，解决了因其自身结构固定，对安放场地有一定的要求，不能根据工作场地调整安放状态，给天然气退火炉的使用带来一定局限性的问题。

(二)技术方案

为实现上述安放稳固目的，本实用新型提供如下技术方案：一种安放稳固的天然气退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体的正面固定安装有控制箱，所述退火炉主体的右侧固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部且位于退火炉主体的右侧固定安装有安装平台，所述安装平台的顶部且位于退火炉主体的右侧固定安装有机箱，所述退火炉主体的底部固定连接有退火炉底座，所述退火炉底座的外部固定安装有连接座，所述连接座的顶部开设有连接口，所述连接口的内部活动连接有支撑柱，所述支撑柱的外部套装有限位块，所述支撑柱的外部开设有限位孔，所述限位孔的底部且位于支撑柱的底部固定连接有支撑脚，所述支撑脚的底部固定连接有垫片，所述支撑脚的顶部开设有固定孔，所述连接座的右侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的外部且位于连接座的左侧螺纹连接有螺帽。

优选的，所述退火炉底座的外部固定连接有四个连接座，支撑脚的顶部开设有四个固定孔。

优选的，所述支撑柱贯穿连接口延伸至支撑脚的顶部，所述连接座通过连接口与支撑柱活动连接。

优选的，所述螺杆贯穿螺纹孔和限位孔延伸至连接座的外部，所述连接座通过螺杆固定连接有支撑柱。

优选的，所述螺帽、连接座和限位孔的内部均开设有与螺杆相匹配的螺纹槽，所述螺帽、连接座和限位孔均通过螺纹槽与螺杆螺纹连接。

优选的，所述垫片为橡胶垫，所述限位孔的外部开设有八个限位孔。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种安放稳固的天然气退火炉，具备以下有益效果：