[实用新型]一种节能环保型天然气退火炉

说明书

本实用新型涉及天然气退火炉技术领域，且公开了一种节能环保型天然气退火炉，包括炉体，所述炉体的内底壁固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部活动连接有集渣箱，所述炉体的上下两侧内壁均通过隔板固定连接，两个所述隔板的内部开设有出渣孔，所述炉体的内壁固定安装有固定板，所述固定板的内部固定安装有通风管，所述固定板的底部且位于通风管的左右两侧均固定连接有支杆，两个所述支杆的底端均通过收集板固定连接，所述通风管的底端贯穿并延伸至收集板的底部，所述固定板的顶部且位于通风管的左右两侧均固定连接有连接杆。该节能环保型天然气退火炉，回收热量，加以利用，节省能源。

技术领域

本实用新型涉及天然气退火炉技术领域，具体为一种节能环保型天然气退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

天然气退火炉是对加工物件进行退货工序的设备，然而天然气退火炉在使用的过程中，设备会产生大量的热量，然而一般的设备不具备收集热量的功能，导致热量会散发到空气中，浪费了大量的资源，故而提出一种节能环保型天然气退火炉来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种节能环保型天然气退火炉，具备回收热量，加以利用，节省能源等优点，解决了一般的设备不具备收集热量的功能，导致热量会散发到空气中，浪费了大量的资源的问题。

(二)技术方案

为实现上述回收热量，加以利用，节省能源的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能环保型天然气退火炉，包括炉体，所述炉体的内底壁固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部活动连接有集渣箱，所述炉体的上下两侧内壁均通过隔板固定连接，两个所述隔板的内部开设有出渣孔，所述炉体的内壁固定安装有固定板，所述固定板的内部固定安装有通风管，所述固定板的底部且位于通风管的左右两侧均固定连接有支杆，两个所述支杆的底端均通过收集板固定连接，所述通风管的底端贯穿并延伸至收集板的底部，所述固定板的顶部且位于通风管的左右两侧均固定连接有连接杆，两个所述连接杆相对的一端均通过抽风机固定连接，所述抽风机的进风口与通风管固定连接，所述抽风机的出风口固定安装有出风管，所述固定板的顶部且位于抽风机的左右两侧均固定安装有收集箱，两个所述收集箱的内底壁均固定连接有水箱，两个所述水箱相离的一侧均固定连接有出水管，两个所述出水管相离的一端均贯穿并延伸至炉体的外部，两个所述收集箱的顶部均通过连接管固定连接，所述连接管的底部与出风管的顶端固定连接，所述炉体底部的左右两侧均固定安装有底座，两个所述底座的底部均通过底板固定连接。

优选的，两个所述支杆的顶端均与固定板底部的连接角度为九十度。

优选的，两个所述隔板呈平行状，所述隔板上出渣孔的数量不小于十个，且均匀分布在两个隔板上。

优选的，所述炉体的左侧且对应集渣箱处铰接有箱盖，所述箱盖的尺寸大于集渣箱左侧的尺寸。

优选的，所述连接管呈U形，所述连接管的外表面固定安装有套管，所述套管的顶部通过固定杆与炉体的内壁固定连接。

优选的，所述收集板呈圆锥形，所述收集箱的内表面与通风管的外表面接触，所述收集箱的内径小于收集板底部的内径。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种节能环保型天然气退火炉，具备以下有益效果：