[实用新型]一种宏微双驱动精密定位平台

说明书

本实用新型公开了一种宏微双驱动精密定位平台，属于精密定位技术领域，包括基座、导轨、平台、固定座、宏微驱动器和限位机构，所述基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头，所述宏微驱动器安装在固定座的中间孔上，所述限位机构安装在固定座侧孔内。本实用新型通过宏微双驱动解决大行程与高精度之间的矛盾，采用双光栅检测方案，能够实现定位平台的全闭环控制以达到精密定位。

技术领域

本实用新型涉及精密定位技术领域，具体涉及一种宏微双驱动精密定位平台。

背景技术

随着高端装备制造业的大力发展，大规模集成电路、精密机械、精密加工、生物机械工程和航天机械等领域对具有大行程、高精度、快速响应的精密定位平台有着越来越迫切的需求。宏微双驱动精密定位平台解决了精密定位技术中大行程与高精度之间的矛盾，宏微双驱动精密定位平台在工程应用中应用的越来越广泛。

目前，现有的宏微双驱动精密定位平台存在如下缺陷：一、通常是采用串联叠加的方式安装宏微双结构，使得定位平台整体结构变的更复杂，同时由于安装误差的存在，使得宏微双定位精度很低；二、宏动结构和微动结构在驱动时自身也会产生误差，不能保证宏动结构的运动能精确定位到微动结构的工作空间内 (通常是微米级或纳米级)，同时微动结构在运动时也难以精确定位到理想位置。

因此，为解决大行程与高精度这一矛盾，研发出一种宏微双驱动精密定位平台，使得定位平台具有大行程、高精度、快速响应等优点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种宏微双驱动精密定位平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种宏微双驱动精密定位平台，包括基座、导轨、平台、固定座、宏微驱动器和限位机构，其特征在于：所述基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头，所述固定座固定安装在基座一端，所述宏微驱动器安装在固定座的中间孔上，且宏微驱动器输出端与平台一侧固定连接，所述限位机构安装在固定座侧孔内，所述基座左端焊接有支架，所述支架顶端固定安装有计算机，所述基座下端焊接有电源箱，所述宏微驱动器、限位机构、计算机、宏动光栅读数头、微动光栅读数头与电源箱电性连接；

所述宏微驱动器包括外壳、宏动线圈骨架、内磁轭筒、微动线圈骨架、GMM 棒、输出杆和端盖，所述外壳内壁固定安装有环形磁铁，所述宏动线圈骨架放置在环形磁铁内部，且宏动线圈骨架外围绕接有宏动线圈，所述宏动线圈骨架顶端卡接有磁轭套筒，所述磁轭套筒内部固定安装有隔磁套筒，所述内磁轭筒安装在隔磁套筒内部，所述微动线圈骨架设置在内磁轭筒内部，且微动线圈骨架外围绕接有微动线圈，所述GMM棒放置在微动线圈骨架内部，且GMM棒两端均设置有导磁块，所述微动线圈骨架顶端设置有导磁筒，所述输出杆设置在导磁块顶端，所述端盖与隔磁套筒顶端通过螺纹连接，所述输出杆贯穿端盖，且端盖与输出杆之间设置有碟簧；

所述限位机构包括滑动筒、铁芯、活塞、推杆，所述滑动筒内部固定安装有铁芯，且滑动筒上设置有漏气孔，所述铁芯外围绕接有磁力线圈，所述滑动筒一侧通过螺纹连接有螺纹盖，且滑动筒滑动连接有活塞，所述活塞一侧内部固定安装有钢片，且活塞另一侧连接有推杆，所述推杆贯穿螺纹盖焊接有固定板，所述固定板另一端与端盖、隔磁套筒和磁轭套筒相接触。

优选的，所述支撑柱底端固定安装有减震垫。

优选的，所述电源箱一侧铰接有箱门，且箱门一侧安装有把手。

优选的，所述限位机构设置有两个。