[实用新型]载物装置和玻璃基板加热炉

说明书

本实用新型涉及玻璃基板制造领域，公开了一种载物装置和玻璃基板加热炉，所述载物装置包括移动架(1)和安装于所述移动架(1)的载物台(2)，所述载物台(2)能够在所述移动架(1)的带动下沿第一方向移动，所述载物台(2)上设置有温度感测件(6)。本实用新型所提供的载物装置的温度感测件直接设置于载物台，随着载物台与工件(例如，玻璃基板)同步移动，使得温度感测件所测得的温度最大程度的接近工件所处位置的温度，有利于工件温度的精确测量。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板制造领域，具体地涉及载物装置和玻璃基板加热炉。

背景技术

载物台通常用于承载待检测或者待处理的工件、样品，并能够使得工件、样品移动至适当位置后保持定位以进行检测、处理。

传统中的载物台的位置调整灵活度低，且精度较差，难以根据实际需要精确移动到理想位置，并且，对于需要对载物台上工件、样品进行加热处理时，工件、样品处的温度难以准确获取，仅能够大致判定，影响工件、样品的处理精度，进而影响成品质量或研究成果。尤其是对于精度要求非常高的玻璃基板生产制造领域，经常需要对玻璃基板进行热处理以研究其热收缩性能等相关性能，精确的热处理过程是保障研究成果的重要前提。

因此，希望有一种装置能够克服或者至少减轻现有技术的上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的热处理精度较差的问题，提供一种载物装置，该载物装置具有邻近工件设置的温度感测件。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种载物装置，所述载物装置包括移动架和安装于所述移动架的载物台，所述载物台能够在所述移动架的带动下沿第一方向移动，所述载物台上设置有温度感测件。

优选地，所述移动架包括杆状主体、形成于所述杆状主体的一端处的插脚和形成于所述杆状主体的另一端处的抽拉手柄，所述载物台形成有与所述插脚配合的插槽，所述插脚插接于所述插槽中以将所述载物台安装于所述移动架。

优选地，所述杆状主体上标注有刻度。

优选地，所述载物台为氧化铝材质。

优选地，所述载物台形成有内嵌凹槽，所述温度感测件至少部分的设置于所述内嵌凹槽中。

优选地，所述内嵌凹槽沿所述第一方向延伸，所述载物台形成有物件放置部，所述物件放置部相对于所述内嵌凹槽的中心轴线对称设置于所述内嵌凹槽的两侧。

优选地，所述物件放置部形成为物件放置槽，所述物件放置槽的延伸方向平行于所述内嵌凹槽的延伸方向；和/或所述物件放置部形成为物件放置平台。

本实用新型第二方面提供一种玻璃基板加热炉，所述玻璃基本加热炉包括具有入口的炉腔、密封所述入口的炉门和根据上文所述的载物装置，其中，所述载物台位于所述炉腔内，所述炉门形成有沿所述第一方向延伸的移动架通道，所述移动架安装于所述移动架通道并能够相对于所述移动架通道滑动。

优选地，所述温度感测件形成为长条形结构，并且，所述温度感测件的中心线与所述炉腔的中心线重合。

优选地，所述移动架的杆状主体通过滑动轴承安装于所述移动架通道；和/或所述移动架与所述移动架通道之间形成有密封结构。

通过上述技术方案，将载物装置的温度感测件直接设置于载物台，随着载物台与工件(例如，玻璃基板)同步移动，使得温度感测件所测得的温度最大程度的接近工件所处位置的温度，有利于工件温度的精确测量。

附图说明

图1是根据本实用新型的一种实施方式的载物装置的移动架的示意图；

图2是根据本实用新型的一种实施方式的载物装置的载物台的示意图；