[实用新型]一种油扩散泵双层梅花形冷阱

说明书

本实用新型公开了一种油扩散泵双层梅花形冷阱，包括冷阱本体，冷阱本体包括上冷阱法兰和下冷阱法兰，冷阱本体上设置冷阱叶片，冷阱本体内部设置梅花形冷却水路，梅花形冷却水路一端设置冷却水盘进水管，梅花形冷却水路另一端设置冷却水盘出水管，冷却水盘进水管和冷却水盘出水管的一侧均设置冷却水盘管接头，冷阱叶片底部设置叶片加强筋，冷阱本体外侧设置凹槽。本实用新型是一种油扩散泵双层梅花形冷阱，通过设置上冷阱法兰和下冷阱法兰，根据扩散泵油在高温下的形态，对冷阱叶片的外形进行了设计，采用对称球面设计，冷却水路的盘制方式也进行了设计升级，采用梅花形排布，做到对扩散泵油的两次遮挡，做到双保险，保证不返油。

技术领域

本实用新型涉及一种冷阱，特别涉及一种油扩散泵双层梅花形冷阱，属于油扩散泵应用技术领域。

背景技术

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10^-4～10^-5帕，工作压力范围为10^-1～10^-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。

冷阱是在冷却的表面上以凝结方式捕集气体的阱，是置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。扩散泵增加冷阱的目的主要是为了防止返流和迁移，泵油通过泵的入口流到被抽容器的现象称之为返流，油分子沿着器壁移动进入被抽容器的现象叫做反迁移，无论是反流还是反迁移都影响真空系统的极限压力，冷阱广泛用于超高真空系统，它装载扩散泵入口与真空室之间，不仅能有效地捕集扩散泵的返流蒸气及部分裂解物，而且可抽除来自真空室的蒸气。

油扩散泵在针对高精密蒸镀设备时，真空室内不允许有腔体返油，现有的冷阱结构均不能做到不返油。所以需要设计一种油扩散泵双层梅花形冷阱，可以做到不返油的优点。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服返油的缺陷，提供一种油扩散泵双层梅花形冷阱。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型提供一种油扩散泵双层梅花形冷阱，包括冷阱本体、冷阱叶片、梅花形冷却水路、冷却水盘进水管、冷却水盘出水管、冷却水盘管接头、叶片加强筋和凹槽，所述冷阱本体包括上冷阱法兰和下冷阱法兰，所述冷阱本体上设置有冷阱叶片，所述冷阱本体的内部设置有梅花形冷却水路，所述梅花形冷却水路的一端设置有冷却水盘进水管，所述梅花形冷却水路的另一端设置有冷却水盘出水管，所述冷却水盘进水管和冷却水盘出水管的一侧均设置有冷却水盘管接头，所述冷阱叶片的底部设置有叶片加强筋，所述冷阱本体的外侧设置有凹槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述上冷阱法兰和下冷阱法兰的材质为碳钢材料。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷阱叶片采用双球面对称设计，所述冷阱叶片采用旋压加焊接的方式制作。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述梅花形冷却水路采用折弯加焊接的方式进行盘制和固定。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却水盘管接头分别连接在冷却水盘进水管和冷却水盘出水管的一端。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述凹槽均匀设置在上冷阱法兰和下冷阱法兰的外侧，所述凹槽设置有若干个。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型是一种油扩散泵双层梅花形冷阱，通过设置上冷阱法兰和下冷阱法兰，根据扩散泵油在高温下的形态，对冷阱叶片的外形进行了设计，采用对称球面设计，冷却水路的盘制方式也进行了设计升级，采用梅花形排布，做到对扩散泵油的两次遮挡，做到双保险，保证不返油。