[实用新型]一种蒸发装置

说明书

一种蒸发装置，包括：用于容置蒸发原料、并将蒸发原料加热成蒸汽的多个蒸发器，还包括：多个连接管以及多个分配器；蒸发装置包含多个蒸发单元，每个蒸发器对应一个连接管以及一个分配器组成蒸发单元，每个蒸发器经由对应的连接管与对应的分配器连通，分配器包括腔体和出气孔；连接管用于将蒸发器内的蒸汽通向分配器的腔体；分配器用于将腔体内的蒸汽从出气孔通出。利用此种蒸发装置进行多元共蒸发时，避免了原料的浪费。

技术领域

本实用新型涉及制造技术领域，特别涉及一种蒸发装置。

背景技术

铜铟镓硒薄膜是CIGS太阳能电池的吸收层，制备高效的CIGS太阳能电池的关键技术之一是获得高质量的吸收层。CIGS薄膜制备的方法多种多样，大致可归结为真空制备技术和非真空制备技术。真空技术主要包括：多元共蒸发、溅射硒化法、分子束外延和化学气相沉积等；非真空技术包括：电沉积、旋涂法和丝网印刷等。虽然方法多种多样，但目前能得到高效太阳能电池的仅有溅射硒化法和多元共蒸发。

多元共蒸发，是一种将制备薄膜所需的铜、铟、镓、硒原料在真空环境中加热共蒸发，在玻璃基板上反应形成CIGS薄膜的工艺方法。其特点是小面积、薄膜质量好、膜厚和带隙容易控制、电池效率高，但是大面积多元共蒸发时，对蒸发设备要求苛刻，且膜厚均匀性不好把握。在多元共蒸发工艺中，使用到的蒸发装置设计，直接影响到蒸汽分布均匀性，进而影响膜厚均匀性。由于多元共蒸发是在硒蒸汽的氛围下，蒸发铜，铟，镓与硒蒸汽反应，如果局部硒蒸汽浓度太低，将不能形成有效的CIGS薄膜；局部硒蒸汽浓度太高，金属蒸汽被过度散射，形成的薄膜厚度降低，所以硒蒸汽的均匀性就很重要，而好的蒸发装置设计则是提高CIGS薄膜均匀性的关键因素。

现有技术中至少存在如下问题：目前的蒸发装置设计一般为两个硒蒸发器共用一个硒分配器，整个腔室共10个硒蒸发器，5个硒蒸汽分配器。两个硒蒸发器共用一个硒分配器对于两个硒蒸发器的平衡性要求较高，如果两个硒蒸发器加热功率不匹配，容易导致某一个硒蒸发器负分压，这样导致其原材料消耗速率明显小于与其共用分配器的另一个硒蒸发器。这样在另一个硒蒸发器的原材料快速耗尽时，机台就必须停下来做维护，这样其他蒸发源剩下的原材料将不能继续使用，容易造成浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸发装置，利用此种蒸发装置进行多元共蒸发时，避免了原料的浪费。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种蒸发装置，包括：用于容置蒸发原料、并将蒸发原料加热成蒸汽的多个蒸发器，还包括：多个连接管以及多个分配器；蒸发装置包含多个蒸发单元，每个蒸发器对应一个连接管以及一个分配器组成蒸发单元，且每个蒸发器经由对应的连接管与对应的分配器连通，分配器包括腔体和出气孔；连接管将蒸发器内的蒸汽通向分配器的腔体；分配器将腔体内的蒸汽从出气孔通出。

本实用新型提供了一种蒸发装置，通过将每个蒸发器对应一个连接管以及一个分配器，且每个蒸发器经由对应的连接管与对应的分配器连通，则在加热蒸发时不会因为加热功率不均而出现负分压，也就不会导致一蒸发器内原料耗尽而另一蒸发器内的原料未耗尽的情况，从而避免了原料的浪费。

可选的，分配器的上表面的横向和纵向分别设置有多个出气孔。通过在分配器的横向和纵向分别设置多个出气孔，有助于在蒸发装置在蒸发室蒸发时，从分配器通出的蒸汽能够均匀分布。

可选的，分配器的上表面设置的横向的出气孔数目与纵向的出气孔数目相同。通过将横向的出气孔数目和纵向的出气孔数目设为一致，有助于蒸汽从分配器通出后在蒸发室宽度方向和长度方向均匀分散。

可选的，还包括挡板；挡板设置在腔体内，挡板上均匀开设有出气孔，出气孔与分配器上表面的出气孔交错分布。通过在分配器内设置包含与分配器上的出气孔交错排布的出气孔的挡板，有助于蒸汽在分配器内均匀分布。

可选的，挡板设置有多个，相邻两个挡板的出气孔交错分布。通过设置多个挡板，且相邻两个挡板的出气孔交错分布，进一步使分配器内的蒸汽均匀分散。