[实用新型]过滤设备有效
| 申请号: | 201821584110.7 | 申请日: | 2018-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN209052478U | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
| 发明(设计)人: | 王振荣;戴志文 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C02F9/02 | 分类号: | C02F9/02;C02F103/16 |
| 代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
| 地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 调压机构 过滤设备 出水腔 进水腔 开关阀 连通 本实用新型 膜过滤装置 出水管道 进水管道 过滤膜 预处理机构 预处理装置 第一开关 内腔分割 液体输送 收纳 出水管 电镀液 进水管 壳体 内腔 原液 体内 配置 | ||
本实用新型公开了一种过滤设备。该过滤设备包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在壳体内的过滤膜,过滤膜将内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,第一调压机构与进水腔连通,在第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,第二调压机构与出水腔连通,在第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,出水管道与出水腔连通,在出水管道上设有第四开关阀。本实用新型提供的过滤设备能有效过电镀液中的杂质。
技术领域
本实用新型涉及一种过滤设备。
背景技术
硫酸铜电镀在PCB线路板电镀工艺中占有极为重要的地位。酸铜电镀的好坏影响电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响。而在电镀过程中,在槽液内会产生胶状杂质,影响酸铜电镀的好处。
现有技术中,一般将槽液从电镀槽输送至工业槽中,再向工业槽中投放炭包或碳粉,过滤胶装杂质。但是,若采用炭包电吸附过滤,由于炭包颗粒较大会导致过滤不干净。若采用碳粉过滤,由于碳粉体积小会导致硫酸铜中混入碳粉,抽回至电镀槽后仍会影响酸铜电镀的好处。
实用新型内容
本实用新型的目的之一是为了克服现有技术中的至少一个不足,提供一种能有效过电镀液中杂质的过滤设备。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
根据本实用新型的第一方面,提供了一种过滤设备。该过滤设备包括:
用于处理原液的预处理机构;
膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;
进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;
第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;
第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;
出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。
可选地,所述第一调压机构包括第一空气压缩机和第一调压管,所述第一调压管的一端与所述第一空气压缩机连通、另一端与所述进水腔连通;所述第二开关阀设置在第一调压管上,在所述第一调压管上还设有串联的第一调压阀、第一泄压阀和第一压力检测器。
可选地,在所述第一调压阀的两侧均串联有第一手动球阀;在所述第一调压管上还设置有与所述第一调压阀和第一手动球阀并联的第二手动球阀。
可选地,所述第二开关阀为电磁阀。
可选地,在所述壳体上设有第一调压口,所述第一调压管通过第一调压口与进水腔连通;所述膜过滤装置竖直设置,所述第一调压口位于或者靠近于所述进水腔的顶端。
可选地,所述过滤膜包括中空管段和位于中空管段下方的板状段;所述过滤设备还包括连通于中空管段出水腔的第一导出管和连通于板状段出水腔的第二导出管;所述第一导出管和第二导出管均与所述出水管道连通,在所述第一导出管上设有第五开关阀,在所述第二导出管上设有第六开关阀。
可选地,所述第一导出管和第二导出管均从所述壳体的外部贯穿至所述出水腔内,所述第一导出管和第二导出管均与所述壳体密封连接。
可选地,所述第一导出管与第二导出管对接,所述出水管道与对接的第一导出管和第二导出管连通。
可选地,所述第一开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀和第六开关阀是气动球阀。
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