[实用新型]光学式瑕疵检测系统

权利要求书

1.一种光学式瑕疵检测系统，其特征在于，包括：

一影像拍摄系统，包括一相机，该相机用以从一待检测物上拍摄影像；

至少一平台，用以承载该待检测物；以及

一位移驱动机构，驱动该相机在X轴方向上移动，且驱动该平台或该相机在Y轴方向上移动；

其特征在于：

该平台包括一可动载台，承载该待检测物的一正面朝上，与一载台，承载该待检测物的一反面朝上，且该光学式瑕疵检测系统包括：一翻面机构，旋转该可动载台使该待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该可动载台与该载台拍摄该待检测物的正面影像与反面影像。

2.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该翻面机构包括：一旋转轴，且该可动载台固定于该旋转轴。

3.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该可动载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的反面，且该载台具有多个气孔，该等气孔用以吸附该待检测物的正面。

4.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该平台包括一锁附平台，且该载台固定于该锁附平台，该可动载台可转动地配置于该锁附平台。

5.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该位移驱动机构包括一X轴驱动机构，该X轴驱动机构驱动该相机在X轴方向上移动，以对准该可动载台上该待检测物的正面，以及对准该载台上该待检测物的反面。

6.根据权利要求1所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，包括：

一第一平台与至少一第二平台，分别用以承载该待检测物或另一待检测物，其中，

该第一平台与该第二平台分别包括该可动载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一正面朝上，与该载台，承载该待检测物或该另一待检测物的一反面朝上，且该翻面机构可旋转该第一平台与该第二平台的该可动载台使该待检测物或该另一待检测物的正面贴附于该载台，使得该相机分别从该第一平台与该第二平台的该可动载台与该载台拍摄该待检测物或该另一待检测物的正面影像与反面影像。

7.根据权利要求1或6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该载台为一固定载台，且该载台固定于一锁附平台，该可动载台可转动地配置于该锁附平台。

8.根据权利要求1或6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中载台为一第二可动载台，该翻面机构可选择地单独旋转该可动载台或该第二可动载台，或共同旋转该可动载台及该第二可动载台，使该待检测物的正面贴附于该第二可动载台。

9.根据权利要求6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该相机依序拍摄该待检测物的正面影像、该另一待检测物的正面影像、该待检测物的反面影像以及该另一待检测物的反面影像。

10.根据权利要求6所述的光学式瑕疵检测系统，其特征在于，其中该相机依序拍摄该待检测物的正面影像、该待检测物的反面影像、该另一待检测物的正面影像以及该另一待检测物的反面影像。