[实用新型]一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置

说明书

本实用新型涉及一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括箱体、支架、储料箱、风管、送风装置、喷嘴、支撑腿，所述箱体底部内壁设有筛网，所述筛网上设有吸盘，所述箱体一侧设有抽气泵，所述箱体内设有喷砂通道，所述储料箱底部通过出料管与进料总管相连，所述进料总管下方连接进料分管，所述进料分管穿过所述箱体与所述喷砂通道相连，所述筛网下方倾斜设有滑槽，所述滑槽下方设有收集箱，所述收集箱上方设有螺旋回料筒，所述螺旋回料筒顶部设有回料电机。不仅提高了喷砂效率，而且实现了砂粒的循环利用，节约了资源，降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及于靶材制造技术领域，特别涉及于一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

靶材的生产与制造是将对应粉末经高温熔化后喷涂，为了使熔化后的粉末材料有效地附着在基体上，故需要对靶材进行喷砂处理使基体具有粗糙化，从而实现靶材的生产。传统靶材的喷砂处理一般采用人工处理，人工处理具有操作复杂，工作量大，效率低，而现有的大多数喷砂装置喷砂时多余的砂粒容易洒落在各个角落，造成了大量砂粒的浪费，以及如果要实现多方向喷砂需要每个方向配备储砂罐和送风装置，成本较高。

实用新型内容

（1）要解决的技术问题

本实用新型提供一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置，克服了传统靶材的喷砂处理采用人工处理具有操作复杂，工作量大，效率低，现有的喷砂装置喷砂时多余的砂粒容易洒落在各个角落，造成了大量砂粒的浪费及如果要实现多方向喷砂需要每个方向配备储砂罐和送风装置，成本较高的缺点。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置，包括箱体、支架、储料箱、风管、送风装置、喷嘴、支撑腿，所述箱体底部设有所述支撑腿，所述箱体底部内壁设有筛网，所述筛网上设有吸盘，所述箱体一侧设有抽气泵，所述抽气泵下端与抽气总管一端相连，所述抽气总管上方通过抽气分管与所述吸盘相连，所述箱体另一侧连接有进气管，所述进气管与所述抽气总管相连，所述箱体内设有喷砂通道，所述筛网的上方及两侧的所述喷砂通道的外壁上设有两个以上的朝向所述吸盘的所述喷嘴，所述箱体上固定有所述支架，所述支架上固定有所述储料箱，所述储料箱底部通过出料管与进料总管相连，所述进料总管下方连接进料分管，所述进料分管穿过所述箱体与所述喷砂通道相连，所述储料箱一侧通过所述风管与所述送风装置相连，所述筛网下方倾斜设有滑槽，所述滑槽下方设有收集箱，所述收集箱上方设有螺旋回料筒，所述螺旋回料筒顶部设有回料电机，所述螺旋回料筒一侧设有回料槽，所述回料槽与所述储料箱另一侧相连。

优选地，所述抽气分管的数量和所述吸盘的数量一致且至少为四个。

优选地，所述进料分管的数量至少为三个。

优选地，所述进气管上设有进气阀，所述出料管上设有控制阀。

优选地，所述送风装置为空气压缩机。

（3）有益效果

本实用新型提供一种可循环利用砂粒的靶材自动喷砂装置，克服了传统靶材的喷砂处理采用人工处理具有操作复杂，工作量大，效率低，现有的喷砂装置喷砂时多余的砂粒容易洒落在各个角落，造成了大量砂粒的浪费及如果要实现多方向喷砂需要每个方向配备储砂罐和送风装置，成本较高的缺点。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、抽气泵进行抽气，通过吸盘将靶材吸住，防止靶材在喷砂过程中产生移位。

2、只需要通过一个储料箱和一个送风装置就可以实现多方向的喷砂，效率高，节约成本。