[实用新型]插板阀的伞形骨架密封机构及插板阀

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种插板阀的伞形骨架密封机构及插板阀。所述插板阀的伞形骨架密封机构包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和波纹膨胀管，波纹膨胀管的一端与支撑板内的气体通道出口相连通，另一端与密封板相连接；对波纹膨胀管内通气，波纹膨胀管膨胀，将支撑板与密封板撑开，使支撑板向设有第一通孔的阀体的一侧侧壁方向移动并与阀体内壁抵靠密封；密封板向设有第二通孔的阀体的一侧侧壁方向移动并与阀体内壁抵靠密封，进而实现插板阀的密封关闭；通过增大波纹膨胀管内的气压，作用于支撑板与密封板上的推力增大，使支撑板与密封板与阀体内壁更紧密的贴合，从而使阀门具有更好的密封性能。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种插板阀的伞形骨架密封机构及插板阀。

背景技术

现有的连续真空镀膜装置中多个真空腔室连续设置，多个真空腔室通过阀门进行真空隔离，而现有的阀门并不能对真空腔室进行有效地密封。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种插板阀的伞形骨架密封机构及插板阀，以解决现有技术中两个真空腔体之间的有效密封的技术问题。

本实用新型提供了一种插板阀的伞形骨架密封机构，包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和波纹膨胀管；

所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；

所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接；

所述支撑板内设有气体通道，且所述支撑板上设有气体通道出口，所述波纹膨胀管的一端与所述气体通道出口相连通，所述波纹膨胀管的另一端与所述密封板相连接。

进一步地，所述气体通道出口和所述波纹膨胀管的数量均为多个，多个所述气体通道出口和多个所述波纹膨胀管一一对应，并多个所述波纹膨胀管均匀分布在所述支撑板与所述密封板之间。

进一步地，所述伞形连接件包括第一连接件、第二连接件和定位轴；

所述第一连接件和所述第二连接件的一端均套设在所述定位轴上，并与所述定位轴转动连接，所述第一连接件的另一端与所述支撑板转动连接，所述第二连接件的另一端与所述密封板转动连接。

进一步地，所述伞形连接件的数量为多个，多个所述伞形连接件均匀分布于所述支撑板与所述密封板之间。

进一步地，还包括固定支架，多个所述伞形连接件通过定位轴与所述固定支架相连接。

进一步地，包括弹性件，所述弹性件的一端与所述支撑板相连接，所述弹性件的另一端与所述密封板相连接，用于拉动所述密封板向所述支撑板方向移动。

进一步地，所述弹性件的数量为多个，且多个所述弹性件均匀分布与所述支撑板与所述密封板之间。

进一步地，所述密封板与所述阀体的贴合处设有密封凹槽。

进一步地，所述密封板包括主阀板和主阀板衬板，所述主阀板衬板与所述主阀板相贴合，并可拆卸连接；

所述支撑板包括从阀板和从阀板衬板，所述从阀板衬板与所述从阀板相贴合，并可拆卸连接。

本实用新型还提供了一种插板阀，包括上述任一项所述的插板阀的伞形骨架密封机构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：