[实用新型]一种氟气除尘器

说明书

本实用新型提供了一种氟气除尘器，涉及氟气生产技术领域，包括箱体，箱体内腔分为除尘主室、除尘副室、冷却室；冷却室内设有气体冷却器、第一抽气泵，气体冷却器设有氟气通入管，气体冷却器通过第一连接管与第一抽气泵相连通；除尘主室内设有呈锥形的筒体，筒体的半径从下往上逐渐增大，第一抽气泵通过第二连接管与筒体相连通，第二连接管向上倾斜设置，筒体底部设有排污管，筒体内顶部设有导电滤网，除尘主室内安装有与导电滤网导电连接的静电产生器；除尘副室安装有粉尘过滤器，筒体顶部设有与粉尘过滤器相连通的第三连接管，粉尘过滤器设有与外部相连通的氟气回收管；根据本实用新型的一种氟气除尘器，具有除尘效率高、除尘效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及氟气生产技术领域，更具体的，涉及一种氟气除尘器。

背景技术

氟气，元素氟的气体单质，化学性质十分活泼，具有很强的氧化性。氟气可作为氟化试剂用于无机含氟材料、有机含氟材料、半导体材料，被广泛应用于电子、激光技术、医药、塑料、石油化工、航空航天等领域，是化工领域的重要原料。由于现有技术通常采用电解或者加热含氟固体混合物的方式来制备氟气，这样制备出来的氟气携带有大量的粉尘，如果不对生成后的氟气进行处理，氟气携带的粉尘杂质会干扰氟气的实际用途。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种氟气除尘器，具有除尘效率高、除尘效果好的优点。

为达此目的，本实用新型采用以下的技术方案：

本实用新型提供了一种氟气除尘器，包括中空的箱体，所述箱体内固定设有竖直放置的第一隔板，所述第一隔板将所述箱体内腔分为除尘主室、辅助室，所述辅助室内固定设有水平放置的第二隔板，所述第二隔板将所述辅助室分为冷却室、除尘副室，所述除尘副室位于所述冷却室的上方；所述冷却室内设有气体冷却器、第一抽气泵，所述气体冷却器设有与外部相连通的氟气通入管，所述氟气通入管上安装有第一阀门，所述气体冷却器通过第一连接管与所述第一抽气泵相连通；所述除尘主室内设有呈锥形的筒体，所述筒体的半径从下往上逐渐增大，所述筒体通过支撑架固定安装于所述除尘主室内，所述第一抽气泵通过第二连接管与所述筒体相连通，所述第二连接管沿靠近所述筒体的方向向上倾斜设置，所述第二连接管的出气口朝向所述筒体侧壁，所述筒体底部设有与外部相连通的排污管，所述排污管上安装有第二阀门，所述筒体内顶部固定设有导电滤网，所述导电滤网的外周缘与所述筒体的内周缘固定连接，所述除尘主室侧壁固定安装有与所述导电滤网相对应的静电产生器，所述静电产生器与所述导电滤网导电连接；所述除尘副室固定安装有粉尘过滤器，所述筒体顶部设有将所述筒体内腔与所述粉尘过滤器相连通的第三连接管，所述第三连接管靠近所述筒体的一端位于所述导电滤网的上方，所述粉尘过滤器设有与外部相连通的氟气回收管，所述氟气回收管上设有第三阀门。

在本实用新型较佳的技术方案中，所述第二连接管靠近所述筒体的一端位于所述筒体高度的1/4～1/3处，所述导电滤网位于所述筒体高度的3/4～4/5处。

在本实用新型较佳的技术方案中，各个管道与所述筒体均采用Monel400合金制成。

在本实用新型较佳的技术方案中，所述除尘主室、所述除尘副室、所述冷却室内均安装有用于检测氟气是否发生侧漏的气压传感器，所述除尘主室、所述除尘副室、所述冷却室均设有用于抽出漏出的氟气的第二抽气泵。

在本实用新型较佳的技术方案中，所述除尘主室侧壁、所述除尘副室侧壁、所述冷却室侧壁均安装有用于维修内部管道和器件的密封门。

本实用新型的有益效果为：