[实用新型]一种加热均匀的钽、铌退火炉

说明书

本实用新型公开了一种加热均匀的钽、铌退火炉，包括退火炉外壳体，还包括散热机构和加热机构，所述退火炉外壳体的前表面固定设置有承重支架，所述承重支架的一侧固定设置有防护前门，所述防护前门的一侧固定设置有操作箱，所述散热机构包括导风支架、抽风口、防尘遮罩、散热扇、吸热翅片、接水盘和导风口，所述操作箱的顶部固定设置有导风支架，通过设计安装在操作箱顶部的导风支架，以及设计安装在操作箱两侧的抽风口，实现了对操作箱的散热处理，极大的增加了操作箱的散热效果，避免了操作箱内部零件损坏的情况，通过设计安装在导风支架底部接水盘，实现了对散热翅片产生水雾的收集，解决了操作箱散热效果较差的问题。

技术领域

本实用新型属于退火炉技术领域，具体涉及一种加热均匀的钽、铌退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。

现有的退火炉上的操作箱一般固定在炉门一侧，由于连接导线或是其他原因导致操作箱内侧产生大量热量，且操作箱的散热效果较差极易导致内部零件损坏的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热均匀的钽、铌退火炉数控高频淬火设备，以解决上述背景技术中提出的的退火炉上的操作箱一般固定在炉门一侧，由于连接导线或是其他原因导致操作箱内侧产生大量热量，且操作箱的散热效果较差极易导致内部零件损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种加热均匀的钽、铌退火炉，包括退火炉外壳体，还包括散热机构和加热机构，所述退火炉外壳体的前表面固定设置有承重支架，所述承重支架的一侧固定设置有防护前门，所述防护前门的一侧固定设置有操作箱，所述散热机构包括导风支架、抽风口、防尘遮罩、散热扇、吸热翅片、接水盘和导风口，所述操作箱的顶部固定设置有导风支架，所述导风支架的底部固定设置有接水盘，所述导风支架的内侧固定设置有散热扇，所述导风支架的内侧对应散热扇的底部固定设置有吸热翅片，所述导风支架的两侧均开设有导风口，所述导风支架的顶部固定设置有防尘遮罩，所述操作箱的两侧均设置有抽风口，所述散热扇与外部电源连接。

优选的，所述加热机构包括第一加热丝、第二加热丝和连接加热丝，所述防护前门的内侧固定设置有第二加热丝，所述防护前门的内侧对应第二加热丝的下方固定设置有第一加热丝，所述第二加热丝和第一加热丝的连接处固定设置有连接加热丝。

优选的，所述承重支架的一侧固定设置有防护后门，所述承重支架的内侧固定设置有加热丝。

优选的，所述抽风口的外侧固定设置有螺纹，且所述抽风口和操作箱通过螺纹旋合连接。

优选的，所述接水盘的底部开设有排水口，且排水口与外接管道连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过设计安装在操作箱顶部的导风支架，以及设计安装在操作箱两侧的抽风口，实现了对操作箱的散热处理，极大的增加了操作箱的散热效果，避免了操作箱内部零件损坏的情况，通过设计安装在导风支架底部接水盘，实现了对散热翅片产生水雾的收集，极大的避免了水雾滴落到操作箱内侧的情况，解决了操作箱散热效果较差的问题。

(2)通过设计安装在防护前门内侧第一加热丝和第二加热丝，实现了对退火炉内部的均匀加热，极大的增加了退火炉的加热效率，同时通过钽、铌材质制成的加热丝，极大的增加了加热丝的使用寿命和导热效果，同时避免了退火炉内侧加热不均匀而导致炸膛的现象，解决了退火炉加热不均匀的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的操作箱剖面结构示意图；

图3为本实用新型的操作箱局部结构示意图；