[实用新型]吸附面积可调式真空吸附平台有效
| 申请号： | 201821468292.1 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN209551524U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 罗正刚 | 申请（专利权）人： | 苏州福莱科斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空吸附平台 真空底座 气室 腔室 吸附 隔板 面积可调式 撕膜机构 圈环形 物件 本实用新型 顶部设置 组合选择 真空泵 暴露 固设 撕膜 载板 连通 室内 配备 | ||
【权利要求书】：
1.吸附面积可调式真空吸附平台，其特征在于，包括载板和真空底座；所述真空底座的顶部设置有腔室；所述载板固设于所述真空底座的顶部，并设置有数个与所述腔室连通的气孔；所述腔室内设置两圈环形隔板；这两圈环形隔板将所述腔室划分成三个气室；每个所述气室均配备有单独的真空泵。
2.根据权利要求1所述的吸附面积可调式真空吸附平台，其特征在于，所述气孔靠近载板吸附面的结构呈扩口喇叭状结构。
3.根据权利要求2所述的吸附面积可调式真空吸附平台，其特征在于，所述环形隔板的顶部与所述载板的底部采用密封圈连接。
4.根据权利要求3所述的吸附面积可调式真空吸附平台，其特征在于，固定底座的底部设置有中空的支撑座；连接三个气室顶部的气管接头位于所述支撑座中。
5.根据权利要求4所述的吸附面积可调式真空吸附平台，其特征在于，所述支撑座的顶部嵌设有数个用于支撑所述真空底座的弹簧。
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