[实用新型]DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统

权利要求书

1.一种DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统，其特征是，DFB阵列扫频光源产生的扫频激光首先进入分光比为20:80宽带光纤耦合器，分出的20％光进入参考的马赫泽德干涉仪MZI，由MZI的光电二极管PD2采集的干涉信号为等波数的参考时钟信号，用于后期主干涉仪的信号重建；另外的80％光通过分光比为10:90宽带光纤耦合器，10％进入两干涉臂中的参考臂，利用带电动位移台的光纤延迟线，用来调节干涉臂的平衡，同时在线匹配两干涉光的光强；另外90％进入测试臂，测试臂采用三端环形器结构，所述扫频激光由三端环形器进入光纤探头后射到待测工件表面，从待测工件表面的反射光被同一光纤探头收集，再由三端环形器进入用于合束的耦合器，与参考光发生干涉；干涉光由铟镓砷InGaAs PIN型光电探测器进行光电转换，经过放大器和滤波器放大并滤波后被ADC模数转换器采集，其中ADC采集的时钟信号是由扫频光源的触发信号时钟产生的，并根据参考MZI干涉仪的PD2采集来的干涉信号作为信号重建的时钟信号。

2.如权利要求1所述的DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统，其特征是，DFB阵列的扫频光源为C波段DFB阵列模块激光光源，由FPGA构成的电流控制电路板为每个DFB阵列模块提供电流以进行扫描，将DFB阵列模块连接以利用阵列的整个带宽产生等效扫描；其中，FPGA通过比较参考时钟和MZI干涉信号进行过零采样后的信号产生PWM脉冲宽度调制误差信号，提供扫描电流，同时根据每次电流扫描的开始输出TTL触发电平信号，用于触发数据采集的时钟信号。

3.如权利要求1所述的DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统，其特征是，光纤探头采用自聚焦透镜，自聚焦透镜镀上增透膜；自聚焦透镜采用短焦距设计。