[实用新型]一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置

说明书

本实用新型公开了一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外光照射灯管；本实用新型与现有技术相比，不会引入活性炭等额外的杂质，降低了纯化介质后续纯化难度和流程，降低了能耗，且缩短了分解产物的停留时间，加快了碳酰氯正向分解反应速率，使纯化介质中的碳酰氯杂质得到更好的分离，提高了分离效果且高效。

技术领域

本实用新型涉及化工分离技术领域，具体涉及一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置。

背景技术

三氯化硼，化学式为BCl3，是一种带臭味的无色气体或液体。三氯化硼目前除作为有机合成催化剂和硼及其化合物的原料外，还在半导体集成电路制造行业中广泛用作掺杂剂或蚀刻剂。随着半导体行业的迅猛发展，集成电路精细度越来越高，因此，三氯化硼作为集成电路制造过程使用的原辅助料，它的纯度要求也会越来越高。

三氯化硼的提纯方法有多种，如吸附、蒸馏、气提等，申请号为CN201410767703.7的专利文件公开了一种三氯化硼的提纯方法及设备，其设备包括用于装盛三氯化硼原料的气瓶、加热装置、分解反应罐、水冷器、吸附罐、精馏塔和接收钢瓶，所述气瓶、分解反应罐及所述吸附罐的外壁设置有所述加热装置，所述气瓶、分解反应罐、水冷器、吸附罐、精馏塔和接收钢瓶通过提纯管道依次连接。

上述设备中的分解反应罐在对碳酰氯进行分解的过程中，采用的是将含有碳酰氯的三氯化硼气化形成气体后以活性碳作为催化剂，通过加热装置使分解反应罐内的反应温度为 200℃，将三氯化硼中的碳酰氯分解为氯气和一氧化碳，以达到分离纯化介质(含有杂质碳酰氯的三氯化硼)中的杂质碳酰氯的目的，采用此分解反应罐对碳酰氯进行分解存在以下问题：

1、此分解反应罐采用活性炭作为催化剂，碳酰氯在进行分解反应的过程中会引起新的杂质；

2、采用加热装置使分解反应罐内的反应温度达到200℃，增加了能耗，且反应温度为 200℃的高温状态下对纯化介质中的杂质碳酰氯进行分解，使分解后的产物(氯气和一氧化碳)难以快速冷却，从而导致部分产物会重新合成为碳酰氯，进而降低了碳酰氯的分解率，降低了纯化介质三氯化硼与碳酰氯的分离效果。

实用新型内容

针对现有技术中所存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离方法，以解决现有技术中，容易引入新的杂质、能耗高以及因碳酰氯的分解率低而降低了纯化介质中三氯化硼与碳酰氯的分离效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外灯反应管。

相比于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：

1、本分离装置对纯化介质中的碳酰氯先进行分解，后对分解产物通过汽提方式实现汽液分离的流程，达到将纯化介质中的碳酰氯进行分离的目的，通过紫外灯反应管提供产生紫外光作为碳酰氯进行催化分解的条件，不会引入活性炭等额外的杂质，降低了纯化介质后续纯化难度和流程，且分离装置中对碳酰氯进行分解反应的温度仅通过紫外灯反应管产生的热辐射和分离装置与外界的交换热即可满足，降低了能耗；

2、本分离装置中通过惰性气体反吹管向壳体内通过带有压力的惰性气体进行反吹，使壳体内分解后的产物在惰性气体的汽提下快速从排气管中排走，缩短了分解产物的停留时间，加快了碳酰氯正向分解反应速率，使纯化介质中的碳酰氯杂质得到更好的分离，提高了分离效果且高效。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1对壳体剖开后的结构示意图；

图3为图2中A部的放大图；