[实用新型]耦合器气密密封装置及耦合器气密密封机

权利要求书

1.一种耦合器气密密封装置，其特征在于，包括：

密封盒，所述密封盒具有一侧开口的容纳腔，所述密封盒用于与工作台盖合以使得所述容纳腔形成密封腔，所述密封盒设有进气嘴和出气嘴，所述进气嘴通过第一电磁阀与气源连接，所述出气嘴通过第二电磁阀与真空泵连接；和

气压传感器，所述气压传感器固定在所述密封盒上，所述气压传感器用于检测所述密封腔内的气压信息，所述气压传感器、所述真空泵、所述第一电磁阀和所述第二电磁阀分别与控制电路电连接，所述控制电路用于接收所述气压信息，且通过所述第一电磁阀和所述第二电磁阀控制所述密封腔内的气压值。

2.根据权利要求1所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括连接块，所述连接块与所述密封盒平行设置，所述连接块通过连接杆与所述密封盒连接。

3.根据权利要求2所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括第一气管，所述进气嘴与所述第一电磁阀之间通过所述第一气管连接。

4.根据权利要求3所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括第二气管，所述出气嘴与所述第二电磁阀之间通过所述第二气管连接。

5.根据权利要求4所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括第三气管，所述第二电磁阀通过所述第三气管与所述真空泵连接。

6.根据权利要求5所述的耦合器气密密封装置，其特征在于，所述第一电磁阀与所述第二电磁阀相对设置在所述连接块上。

7.根据权利要求2所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括固定架和导杆，所述连接块与所述固定架平行设置，所述导杆的一端与所述连接块固定连接，所述导杆的另一端贯穿所述固定架，以使得所述连接块可沿着所述导杆方向移动。

8.根据权利要求7所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括气缸，所述固定架具有通孔，所述气缸固定在所述固定架上且所述气缸的活塞杆穿过所述通孔并与所述连接块固定连接。

9.根据权利要求1所述的耦合器气密密封装置，其特征在于还包括显示面板，所述显示面板与所述气压传感器电连接，所述显示面板用于显示所述密封腔内的气压信息。

10.一种耦合器气密密封机，其特征在于包括机座、支撑架、报警器、操作面板和根据权利要求1～9任一项所述的耦合器气密密封装置，其中，所述耦合器气密密封装置通过一固定架安装在所述支撑架上，所述报警器设置在所述支撑架上，所述支撑架垂直固定在所述工作台的工作表面上，所述工作台与所述操作面板固定在所述机座上，且所述操作面板和所述报警器与所述控制电路电连接。