[实用新型]一种硅片甩干机停机转轴自复位机构

说明书

本实用新型公开一种硅片甩干机停机转轴自复位机构，其包括横向布置的伺服无刷直驱电机和复位气缸，所述伺服无刷直驱电机的输出轴通过联轴器与甩干机的转轴连接，所述联轴器上安装有自复位定位凸轮，所述自复位定位凸轮上设置有定位凹槽，所述复位气缸的活塞杆端部安装有定位滚轮，甩干机停机后，所述复位气缸驱动定位滚轮紧贴自复位定位凸轮的轮面，由定位滚轮带动自复位定位凸轮转动，直至定位滚轮卡于定位凹槽后自复位定位凸轮停止转动。上述硅片甩干机停机转轴自复位机构无需采用定制电机，节省了成本；而且结构紧凑，设计巧妙，定位精准，提高了甩干机运行的稳定可靠性。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片甩干机，尤其是涉及一种硅片甩干机停机转轴自复位机构。

背景技术

在集成电路加工工艺中，对硅片进行清洗是其中比较重要的一个步骤流程，这是因为在硅片制造过程中会有一些残留化学试剂和微尘附着在硅片表面，如果此种化学试剂尘粒缺陷(P/D，Particle Defect)不及时去除，会严重影响良率。

湿法清洗甩干工艺是硅片较为常用的清洗甩干工艺，该清洗工艺完成后需要对硅片进行氮气干燥，硅片甩干机用于将潮湿的硅片通过高速旋转及干燥使硅片表面干燥洁净。现有的硅片甩干机按照转轴的布置形式分为水平硅片甩干机(转轴竖直布置)和立式硅片甩干机(转轴横向布置)，针对立式硅片甩干机停机后都需要将转轴进行一定角度的复位，以使硅片承载盒内的硅片都竖直向上，避免硅片在取出时从硅片承载盒内掉落。目前现有的立式硅片甩干机的停机自复位机构需要定制专门的驱动电机，存在结构复杂、维修困难和成本高的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片甩干机停机转轴自复位机构一体化机构，以解决现有技术中硅片甩干机驱动电机及停机转轴自复位机构存在结构复杂、维修困难和成本高的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅片甩干机停机转轴自复位机构，其包括驱动电机和复位气缸，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与甩干机的转轴连接，所述联轴器上安装有自复位定位凸轮，所述自复位定位凸轮上设置有定位凹槽，所述复位气缸的活塞杆端部安装有自复位驱动部件，甩干机停机后，所述复位气缸驱动自复位驱动部件紧贴自复位定位凸轮的轮面，由自复位驱动部件带动自复位定位凸轮转动，直至自复位驱动部件处于定位凹槽内使自复位定位凸轮停止转动。

优选地，所述自复位定位凸轮还设置有凸起拐点，所述凸起拐点以自复位定位凸轮的中心为对称点与定位凹槽对称设置，所述定位凹槽与凸起拐点两侧的轮面为对称设置的两个平滑圆弧面，所述平滑圆弧面自定位凹槽到凸起拐点的半径依次递减。

优选地，所述联轴器通过传动轴承装配于联轴器座内，所述自复位定位凸轮位于所述联轴器座内，所述联轴器座上开设有用于复位气缸的活塞杆穿入的通孔。

优选地，所述复位气缸通过复位气缸定位座安装于所述联轴器座的底部，通过复位气缸定位座对复位气缸的行程进行定位。

优选地，所述复位气缸的活塞杆上设置有定位销，配合定位销于所述联轴器座内开设有导向槽，通过定位销和导向槽防止活塞杆升降时转动。

优选地，所述自复位定位凸轮上开设有若干个平衡孔，平衡孔在提高联轴器转动时的平稳性的同时具有减重的作用。

优选地，所述驱动电机采用伺服无刷直驱电机，所述伺服无刷直驱电机相对于输出轴的另一端安装编码器。

优选地，所述自复位驱动部件包括滚轮架和定位滚轮，所述滚轮架安装于复位气缸的活塞杆端部，所述定位滚轮能转动地安装于滚轮架上，复位时所述定位滚轮紧贴自复位定位凸轮的轮面。

与现有技术相比，本实用新型具有以下技术效果所述硅片甩干机停机转轴自复位机构无需采用定制电机，节省了成本；而且结构紧凑，设计巧妙，定位精准，提高了甩干机运行的稳定可靠性。

附图说明