[实用新型]一种多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统

权利要求书

1.一种多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，包括沿光路设置的多波长激光器、光路切换装置、光束整形装置和加工平台；所述多波长激光器能够产生多个不同波长的激光，并一次发射一个或多个不同波长的激光；所述光路切换装置设有多个，每个光路切换装置包括通光孔、反射镜和分光镜；所述光束整形装置的数量与多波长激光器发射的激光的数量一致，每个光束整形装置包括扩束镜、准直镜、聚焦镜、振镜和耦合聚焦镜；所述加工平台与多波长激光器发射的激光的数量一致，每个加工平台用于固定对应材料的待加工产品。

2.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述多波长激光器包括多个定波长激光器，每个定波长激光器发射一种波长的激光。

3.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述多波长激光器包括激光发生机构和用于将所述激光发生机构发射的激光分光倍频成不同波长激光的分光倍频机构。

4.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述光路切换装置包括电机以及安装在所述电机输出轴上的镜架，所述镜架上设有两个通孔，其中一个通孔上根据需求安装有反射镜或分光镜，另一个通孔作为通光孔。

5.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，该系统还包括设置在多波长激光器后端与其发射的激光一一对应的扩束镜。

6.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，该系统还包括设置在每个光束整形装置后端的半透半反镜和视觉CCD。

7.根据权利要求1所述的多波长和多加工方式的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述加工平台上设置有平移部、抬升部和/旋转部，用于实现加工平台上的平移、抬升或/旋转。