[实用新型]单极性电容式微位移传感器

权利要求书

1.一种单极性电容式微位移传感器，包括传感器探头和信号调理电路，传感器探头包括探头壳体(1)和安装在探头壳体一端的感应极板(2)；其特征在于：所述信号调理电路包括集成在调制电路板(3)上的载波调制电路和集成在解调电路板(4)上的解调电路，调制电路板(3)安装在探头壳体内，载波调制电路通过同轴电缆(5)与感应极板(2)连接，解调电路板(4)安装在探头壳体外，解调电路通过多芯电缆与载波调制电路连接。

2.根据权利要求1所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述感应极板(2)包括基底(23)、设置在基底正面的感应电极(21)、等势电极(22)和设置在基底背面的感应连接电极(24)、等势连接电极(25)，等势电极同轴包围感应电极且与感应电极之间具有绝缘环，感应电极(21)通过第一过孔(26)与感应连接电极(24)连接，等势电极(22)通过第二过孔(27)与等势连接电极(25)连接，等势连接电极同轴包围感应连接电极且与感应连接电极之间具有绝缘环。

3.根据权利要求2所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述载波调制电路包括加法器X2、参考电容C_r和电压跟随器X1，加法器X2的一个输入端与解调电路的载波电压输出端连接、另一个输入端与电压跟随器X1的输出端连接，加法器X2的输出端与参考电容C_r的一端连接，参考电容C_r的另一端与电压跟随器X1的输入端连接，感应连接电极(24)通过同轴电缆的中心导体与电压跟随器X1的输入端连接，等势连接电极(25)通过同轴电缆的外层导体与电压跟随器X1的输出端连接，电压跟随器X1的输出端通过多芯电缆与解调电路的输入端连接。

4.根据权利要求3所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述电压跟随器X1的输出端与五芯电缆(6)的一端连接，五芯电缆(6)的另一端具有电缆接头(7)，电缆接头(7)与解调电路的输入端连接。

5.根据权利要求4所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述解调电路的传感电压输出端与一BNC电缆(8)的一端连接，BNC电缆(8)的另一端具有BNC转SMA接头(9)。

6.根据权利要求2至5任一所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述感应极板(2)为圆形极板，采用PCB工艺制作而成，感应电极(21)呈圆形，等势电极(22)呈圆环形。

7.根据权利要求2至5任一所述的单极性电容式微位移传感器，其特征在于：所述感应极板(2)为矩形极板，采用PCB工艺制作而成，感应电极(21)呈矩形，等势电极(22)呈矩形环状。