[实用新型]一种天然气退火炉连续进料装置

说明书

本实用新型公开了一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区、进料电机和出料电机，退火区中设置有左挡板和右挡板，左挡板与右挡板垂直设置，左挡板和右挡板相对的表面设置有倾斜卡槽，左挡板和右挡板远端边缘均设置有限位挡板，左挡板和右挡板均固定在转轴上，转轴两端均设置有支架，转轴两端下方均设置有拨板，右侧拨板下方设置有进料电机，进料电机上设置有拨杆，左侧拨板下方设置有出料电机，出料电机上同样设置有拨杆，两侧拨杆设置在各自拨板的左侧，左侧支架下方设置有收料箱，进料电机和出料电机下方均设置有电机座，本进料装置结构简单，操作方便，通过反复的传导动作，将退火区挡板上的工件不断向一侧推进，最终使得工件顺利通过退火区，自动化程度高，节省人力，使用安全。

技术领域

本实用新型涉及退火加工技术领域，尤其是涉及一种天然气退火炉连续进料装置。

背景技术

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构。

退火炉是退火加工中不可或缺的加工设备，通常是先将退火炉内的炉胆从退火炉的炉膛取出，装入工件至炉胆内，然后将炉胆置入炉膛内，加热至预设温度并保持一定的时间后，将炉胆从退火炉的炉膛退出，再将工件从炉胆内取出。此种退火方式不能连续进料且进料不方便，自动化程度不高，极大地影响了工件的加工效率。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种天然气退火炉连续进料装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区、进料电机和出料电机，所述退火区中设置有左挡板和右挡板，所述左挡板与所述右挡板垂直设置，所述左挡板和所述右挡板相对的表面设置有倾斜卡槽，所述左挡板和所述右挡板远端边缘均设置有限位挡板，所述左挡板和所述右挡板均固定在转轴上，所述转轴两端均设置有支架，所述转轴两端下方均设置有拨板，右侧所述拨板下方设置有所述进料电机，所述进料电机上设置有拨杆，左侧所述拨板下方设置有所述出料电机，所述出料电机上同样设置有所述拨杆，两侧所述拨杆设置在各自所述拨板的左侧，所述左侧支架下方设置有收料箱，所述进料电机和所述出料电机下方均设置有电机座。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架与所述转轴转动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进料电机与所述出料电机旋转速度相同，旋转方向相对不同。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述退火区的所述转轴稍向左倾斜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述转轴和所述左挡板和所述右挡板表面均设置有石棉绝热材料膜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述拨板与所述拨杆活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本进料装置结构简单，操作方便，通过反复的传导动作，将退火区挡板上的工件不断向一侧推进，最终使得工件顺利通过退火区，完成连续进料的要求，自动化程度高，节省人力，使用安全，提高工件建工效率。

附图说明