[实用新型]一种离子束超精密加工光学元件的夹具

说明书

本实用新型涉及一种离子束超精密加工光学元件的夹具，包括装卡平台，夹持光学元件的夹持组件，和能将夹持组件固定在装卡平台上的锁紧机构，所述装卡平台中心设有中心孔，所述装卡平台上径向设置有至少3个安装槽，所述夹持组件具有至少3个，每个夹持组件均能在对应的所述安装槽内径向移动、且能在所述锁紧机构的作用下，使得夹持组件与安装槽相紧固或相松开，其特征在于：每个所述夹持组件侧壁均设有指示标记，所述装卡平台靠近每个安装槽的槽口处径向设有与指示标记配合的刻度线。通过设置指示标记和刻度线，夹装时，将夹持组件移动到指示标记与相应的刻度线对齐，从而将光学元件快速、准确地进行夹装，具有结构简单、操作方便的优点。

技术领域

本实用新型涉及光学元件精密制造领域，具体涉及一种离子束超精密加工光学元件的夹具。

背景技术

随着现代光学系统性能的提高，对于超精密光学元件的精度提出了越来越高的要求，关键光学元件的表面精度成为决定整个系统最终性能的关键因素。传统的加工技术存在的诸如边缘效应，刀具磨损和压力负荷等问题，限制了光学元件的最终面形精度，很难实现纳米、亚纳米精度要求的光学面形。

离子束加工(IBF)通过物理溅射效应去除材料，是一种确定性加工技术，可以达到纳米级的加工精度。由于离子束加工技术具有去除率高、非接触式加工模式、工件无承重、无边缘效应、对材料无深度损伤等优点，使得这项技术被引入到光学表面加工领域中来，有效弥补了传统加工工艺的不足，并与传统加工工艺相互配合，取得了理想的加工结果，得到了很高的光学表面面形质量。在加工过程中，人为误差成为其加工误差的主要来源。特别是在对光学元件的夹装过程中，每次安装都要通过游标卡尺进行定位，然后手动安装，不但速度慢，而且会存在操作误差，影响后期加工精度。

已有专利针对上述情况进行了改进。例如，申请号为201110329856.X(公告号为：CN102501154B)的中国发明专利公开了《一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法》，该专利中，在装卡主平台安装一个千分表，旋转四槽旋转台，通过读取千分表距每个滑动固定柱的距离，不断调节和移动滑动固定柱在四槽旋转台上位置，使千分表距每个滑动固定柱的距离基本一致时，固定滑动固定柱。又如申请号为201510962237.2(公告号为：CN105563270B)的中国发明专利《一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置》中，通过判断接触三个工件夹持柄表面时百分表的示数，可以判断待加工工件与工件夹持底座的定心情况；另外，该专利还通过工件外圆侧壁上的指示线与定方位指示针对准，实现加工工件与工件夹持底座方位角一致的调节。以上两个专利分别通过千分表读取千分表距每个滑动固定柱的距离，通过判断接触三个工件夹持柄表面时百分表的示数来定位，均实现了工件的精确装卡，但是均需要旋转台，需要装表，调表等步骤，结构比较复杂，操作不够方便。

还如申请号为201510002041.9(公告号为：CN104526499B)的中国发明专利公开了《一种离子束抛光设备中的工件夹具》，圆形基准盘上有刻度线作为粗调的基准，使所有移动块边缘都与刻度线相适应的同一刻度对齐。该发明中的工件夹具便于操作，能快捷精准定位。但该工件夹具包括粗调组件和微调组件，结构比较复杂，需要进行两次调节，操作仍然不够方便。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的现状，提出一种结构简单、操作方便，能将光学元件快速、准确地进行夹装的离子束超精密加工光学元件的夹具。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种离子束超精密加工光学元件的夹具，包括装卡平台，夹持光学元件的夹持组件，和能将夹持组件固定在装卡平台上的锁紧机构，所述装卡平台中心设有中心孔，所述装卡平台上径向设置有至少3个安装槽，所述夹持组件具有至少3个，每个夹持组件均能在对应的所述安装槽内径向移动、且能在所述锁紧机构的作用下，使得夹持组件与安装槽相紧固或相松开，其特征在于：每个所述夹持组件侧壁均设有指示标记，所述装卡平台靠近每个安装槽的槽口处径向设有与指示标记配合的刻度线。