[实用新型]真空缓冲装置、连接装置和柔性太阳能电池生产设备

权利要求书

1.一种真空缓冲装置，其特征在于：

包括外腔室和缓冲腔体；

所述缓冲腔体一端连接真空设备，另一端连接外腔室；所述外腔室一端连接大气环境，另一端连接缓冲腔体；

所述外腔室和缓冲腔体连接处设置有第一对辊，所述第一对辊带动膜材输送；

所述外腔室面向大气端设有第二对辊，所述第二对辊与外腔室之间设有第一密封圈；

所述缓冲腔体内还设置有除第一对辊和第二对辊之外的对辊，将缓冲腔体分隔为多个真空腔室，所述多个真空腔室分别与不同的真空泵连接。

2.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述外腔室和缓冲腔体连接处设有第二密封圈，和/或所述缓冲腔体与真空设备连接处设有第三密封圈。

3.根据权利要求2所述的真空缓冲装置，其特征在于，外腔室连接对辊处设置有第一密封圈槽，用于容纳所述第一密封圈，外腔室上连接缓冲腔体处设有第二密封圈槽，用于容纳所述第二密封圈，和/或在缓冲腔体连接真空设备处设有第三密封圈槽，用于容纳所述第三密封圈。

4.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述缓冲腔体被所述除第一对辊和第二对辊之外的对辊分隔为5个真空腔室。

5.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述缓冲腔体内各真空腔室的真空度，从面向真空设备端到面向外腔室端依次递减。

6.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述对辊包括胶辊和/或钢辊。

7.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述对辊的两辊之间设置有狭缝供膜材通过，所述狭缝的宽度为0.1-1mm。

8.根据权利要求1所述的真空缓冲装置，其特征在于，所述真空缓冲装置还设置有驱动机构和控制系统，每组对辊均与独立的驱动机构连接，每个所述驱动机构均与控制系统连接，控制系统控制驱动机构保持所述对辊表面线速度一致。

9.一种连接真空设备与常压设备的连接装置，其特征在于，所述连接装置包括权利要求1-8任一项所述的真空缓冲装置和一对45度辊，所述45度辊设置为将所输送膜材从下表面转换到上表面。

10.一种柔性太阳能电池生产设备，其特征在于，所述生产设备包含权利要求9所述的连接装置。