[实用新型]一种适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置

权利要求书

1.一种适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置，其特征在于：该装置由真空腔体、可调节焦距的锥齿轮组合以及聚焦模块组成，其中，可调节焦距的锥齿轮组合包括卡环(21)，圆杆(22)，三根固定杆(23)，移动块(24)，螺纹杆(25)，第一锥形齿轮(26)，第二锥形齿轮(27)，旋钮(28)和承载块二(29)，运用三根固定杆(23)和移动块(24)组合将聚焦模块和开关模块固定在正中间，移动块外围有两个圆杆(22)和一个螺纹杆(25)，螺纹杆(25)与移动块之间通过焊接连接为一体，并且也与第一锥形齿轮(26)通过螺纹连接；通过旋转旋钮(28)，转动第二锥形齿轮(27)和第一锥形齿轮(26)，从而转动螺纹杆，使移动块(24)实现前后移动，实现聚焦模块前后平移，调节不同波长光焦点位置；

聚焦模块包括卡扣(11)，第一螺孔(12)，第一圆形凹槽(13)，圆孔(14)，圆锥空腔(15)，第二螺孔(16)，承载块一(17)，第二圆形凹槽(18)和第三螺孔(19)，承载块一(17)中间的第一圆形凹槽(13)和第二圆形凹槽(18)都是用于放置聚焦光斑的透镜，使用螺钉将第一螺孔(12)、第二螺孔(16)和第三螺孔(19)固定，可以通过圆锥空腔(15)和承载块一(17)将透镜固定，圆锥空腔顶部开一个圆孔(14)，卡扣(11)用于聚焦模块的进入光路后的固定；聚焦模块的承载块一(17)通过铰链连接与承载块二(29)连为一体，聚焦模块就能实现相对转动，使用腔体内的机械手使得卡扣(11)与卡环(21)固定。

2.根据权利要求1所述的适用于超高真空环境的宽波段光斑聚焦装置，其特征在于：三根固定杆(23)和移动块(24)将聚焦模块和开关模块固定在真空腔体的中间即原有光路，保证在使用聚焦功能时可以对光束线进行光斑的聚焦；圆杆(22)一方面与外面的腔体固定，保证聚焦模块始终处于正中间的位置，另一方面由于圆杆(22)与移动块并不是固定的即能够相对移动，保证移动块(24)移动是始终位于正中间位置。