[实用新型]一种用于抽气泵的限位脚有效

专利信息
申请号: 201821064532.1 申请日: 2018-07-05
公开(公告)号: CN208502978U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 何成伟 申请(专利权)人: 协伟集成电路设备(上海)有限公司
主分类号: F04B39/00 分类号: F04B39/00
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 代理人: 王新爱
地址: 201614 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 抽气泵 限位脚 震动 本实用新型 生产成本低 安装方便 设备需要 输气管 运行时 脚本 防震 移位 减小 限位 维修 移动
【说明书】:

本实用新型公开了一种用于抽气泵的限位脚,本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本限位脚的设计依据防震规范来进行设计,通过使用本限位脚,使得抽气泵在运行时,其设备在水平方向的移动得以限制,从而减小抽气泵在水平方向的移位,进一步减弱抽气泵的输气管的震动,从而避免了抽气泵自身震动对其他设备的影响,从而改善了抽气泵正常工作的环境,以及确保了其他设备正常运转;同时也使设备需要维修工作变得便捷。

技术领域

本实用新型涉及无尘室中抽气泵技术领域,特别涉及一种用于抽气泵的限位脚。

背景技术

在电子厂特别是在半导体厂,由于抽气泵应用较为频繁,也较为精密,其中抽气泵的稳定性尤为重要;由于抽气泵本身在工作时会产生震动,所以该设备极为不稳定。但是由于抽气泵本身设计的特点,其垂直方向由于重力作用而基本上能克服其垂直方向的震动。但是抽气泵本身运转也会产生水平方向的震动,从而使抽气泵会左右前后晃动,长期的水平晃动会导致输气管的连接头部分产生疲劳损坏现象。另外,由于输气管的水平方向的晃动会进一步把其震动传递到其他精密仪器,从而导致其他精密仪器被其输气管的震动所干扰,从而破坏了其他精密仪器的正常工作,进一步对其产品质量会造成很大影响。同时抽气泵也是维修较为频繁的设备,经常需要移动该设备去进行维修。所以需要发明一种固定结构,对其水平方向进行限位以及便于拆卸的固定结构,从而确保抽气泵本身以及与其连接的精密仪器能最佳状态运转。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题,而提供一种用于抽气泵的限位脚。

为了解决上述问题,本实用新型提供了一种技术方案:一种用于抽气泵的限位脚,包括:抽气泵和安装平台,所述抽气泵设置在安装平台上,其创新点在于:还包括限位脚;所述限位脚的具体结构为:包括限位脚站脚、限位脚锁紧螺栓、限位脚活动板、固定螺栓、限位脚站脚底板和限位板;所述限位脚站脚呈L型状,所述限位脚站脚固定连接在限位脚站脚底板上表面的上;所述限位脚站脚上端外侧面上通过限位脚锁紧螺栓连接有一个限位脚活动板,所述限位脚活动板与水平面相互平行;所述限位脚活动板下方设有一个用于限位的限位板,所述限位板固定连接在限位脚站脚的外侧面上;所述限位脚站脚底板中连接有两个相互间隔的固定螺栓;所述抽气泵和安装平台与限位脚之间的具体连接关系为:所述限位脚为两个,所述限位脚设置在抽气泵的对角线两侧;所述限位脚通过两个固定螺栓固定连接在安装平台上,两个所述限位脚上的限位脚活动板抵住抽气泵的前、后两个侧面,两个所述限位脚上的限位脚站脚抵住抽气泵的左、右两个侧面。

作为优选,所述限位脚为不锈钢材质。

作为优选,所述限位脚站脚底板呈矩形状。

本实用新型的有益效果:本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本限位脚的设计依据防震规范来进行设计,通过使用本限位脚,使得抽气泵在运行时,其设备在水平方向的移动得以限制,从而减小抽气泵在水平方向的移位,进一步减弱抽气泵的输气管的震动,从而避免了抽气泵自身震动对其他设备的影响,从而改善了抽气泵正常工作的环境,以及确保了其他设备正常运转;同时也使设备需要维修工作变得便捷。

附图说明

为了易于说明,本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为常规抽气泵安装示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为本实用新型的细节结构示意图。

图4为本实用新型的C部放大结构示意图。

图5为本实用新型的B部放大结构示意图。

图6为本实用新型限位脚的结构示意图。

图7为本实用新型限位脚的结构示意图。

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