[实用新型]一种氟化氢气体净化装置

权利要求书

1.一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：包括净化罐(1)、喷淋头(11)、储液罐(2)、净化管(12)、多个输液管(13)、供液管(14)、回收罐(3)、第一水泵(15)、第二水泵(31)；

所述净化管(12)部分位于所述净化罐(1)的内部，且所述净化管(12)的左右两端分别贯穿所述净化罐(1)的左右两侧壁延伸至所述净化罐(1)的外部，位于所述净化罐(1)内部的所述净化管(12)迂回设置，所述净化管(12)的左端配置为输入端，所述净化管(12)的右端配置为输出端；所述净化管(12)的输出端位于输入端的上方；

多个所述喷淋头(11)固定于所述净化管(12)的内顶壁上；所述储液罐(2)位于所述净化罐(1)的右侧，且多个所述输液管(13)的右端均与所述供液管(14)连通，多个所述输液管(13)均贯穿所述净化罐(1)的右侧壁延伸至所述净化罐(1)的内部，多个所述输液管(13)均与相邻的所述喷淋头(11)连通，所述供液管(14)的下端与所述第一水泵(15)连通，所述第一水泵(15)还通过排液管(17)与所述储液罐(2)的底部连通；

所述回收罐(3)位于所述净化罐(1)的底部，且所述回收罐(3)通过第一回液管(32)与所述净化管(12)的底部连通；所述回收罐(3)通过第二回液管(33)与所述储液罐(2)连通，所述第二回液管(33)上固定有第二水泵(31)。

2.根据权利要求1所述的一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：

还包括洗气罐(4)以及进气管(41)；

所述洗气罐(4)位于所述净化罐(1)的左侧，所述净化管(12)的输入端与所述洗气罐(4)的顶部连通，所述进气管(41)与所述洗气罐(4)的左壁连通。

3.根据权利要求1所述的一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：

还包括pH检测器(16)；

所述pH检测器(16)固定于所述净化管(12)输出管的内侧壁。

4.根据权利要求1所述的一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：

还包括原料罐(24)；

所述原料罐(24)通过支架(25)固定于所述储液罐(2)的上方；

所述原料罐(24)的底部通过输料管(26)与所述储液罐(2)的顶部连通；

所述输料管(26)上固定有电动阀(27)；

所述原料罐(24)内存放有氢氧化钠颗粒。

5.根据权利要求4所述的一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：

还包括电机(21)、搅拌轴(23)以及多个搅拌桨(22)；

所述电机(21)固定于所述储液罐(2)的底部，且所述搅拌轴(23)以及所述搅拌桨(22)均位于所述储液罐(2)的内部，所述搅拌竖直贯穿所述储液罐(2)的底壁与所述电机(21)的动力输出端固定连接；多个所述搅拌桨(22)等间距地固定于所述搅拌轴(23)上。

6.根据权利要求1所述的一种氟化氢气体净化装置，其特征在于：

所述净化罐(1)内填充有冷却液。