[实用新型]制备超净高纯氢氟酸的装置

说明书

本实用新型公开了制备超净高纯氢氟酸的装置，属于氢氟酸生产设备技术领域，包括底座、制备组件、固定在底座上的第一倒U形框和第二倒U形框，第一倒U形框包括两竖直杆和与竖直杆相互连接的连接杆，竖直杆上活动套设有伸缩杆，伸缩杆的一端设有夹爪部，制备组件包括原料供给组件、通过伸缩杆固定的提纯组件以及设置在底座上的收集罐，原料供给组件均配套有计量用电子称，原料供给组件包括；本实用新型结合电子称实现较为精准的投料进一步提升提纯效果，而提纯组件均通过伸缩杆进行固定安装，利用伸缩杆与竖直杆之间的滑动配合使得提纯组件的安装位置方便调节，使得整体安装方便，结构紧凑便于维护。

技术领域

本实用新型涉及氢氟酸生产设备技术领域，更具体的，涉及制备超净高纯氢氟酸的装置。

背景技术

电子工业中特别是微电子工业中需要不同种类的高纯物质，这些高纯物质也可以称为“电子化学品”，它主要用于制造半导体器件、印刷线路板以及封装等方面，包括硅片、砷化镓等基本半导体材料、高纯度化学试剂、光刻胶、高纯气体、封装材料等百多个品种，其中高纯化学试剂包括腐蚀剂、清洗剂等，根据其不同的用途有着不同的质量要求；氢氟酸就是高纯化学试剂中的一种，随着电子、信息、通讯行业的迅猛发展，对于氢氟酸试剂的纯度、杂质等的要求越来越高；现有技术中为制备满足要求的高纯度氢氟酸，往往经过多次的循环蒸馏来使得氢氟酸纯度更高，但是其制备效果仍有不足，另外其制备装置往往也需要用到很多的反应器皿来达到制备高纯度氢氟酸目的，这也提高了制备装置整体的复杂性，而且反应器皿之间往往都是固定放置的，难以进行调节，对于生产维护来说较为不方便。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出制备超净高纯氢氟酸的装置，通过添加高锰酸钾来氧化砷杂质从而使得制备的氢氟酸纯度更高，而且结合电子称实现较为精准的投料进一步提升提纯效果，另外本实用新型的提纯组件均通过伸缩杆进行固定安装，利用伸缩杆与竖直杆之间的滑动配合使得提纯组件的安装位置方便调节，使得整体安装方便，结构紧凑便于维护。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：包括底座、固定设置在所述底座上的安装框架和固定在所述安装框架上的制备组件，所述安装框架包括第一倒U形框和与所述第一倒U形框呈交叉垂直分布且相互固定连接的第二倒U 形框，所述第一倒U形框以及所述第二倒U形框的两端部均与底座固定连接，所述第一倒U形框与所述第二倒U形框之间形成方形容纳空间，所述方形容纳空间内设有支撑板，所述第一倒U形框与所述第二倒U形框上分别设有用于支撑所述支撑板的支撑块；

所述第一倒U形框包括两竖直杆和连接杆，两所述竖直杆与所述连接杆之间相互固定连接形成所述第一倒U形框，所述竖直杆上套设有若干伸缩杆，所述伸缩杆位于所述支撑板下方，所述伸缩杆包括第一轴段和与所述第一轴段伸缩配合的第二轴段，所述第一轴段一端上设有套接部，所述伸缩杆通过所述套接部套设在所述竖直杆上，所述竖直杆上设有若干呈竖直等距分布的通孔，所述套接部上设有与所述通孔对应的定位孔，所述套接部通过螺栓固定在所述竖直杆上，所述第一轴段的另一端面上设有供所述第二轴段一端插入的容置腔，所述第一轴段和第二轴段上均设有若干相互对应的插销孔，所述第一轴段和所述第二轴段通过插销固定连接，所述第二轴段另一端上固定设有用于夹持的夹爪部；

所述制备组件包括设置在所述支撑板上的原料供给组件、固定在所述伸缩杆上的提纯组件和设置在所述底座上的收集罐，所述原料供给组件包括液态氟化氢原料罐、高锰酸钾供料罐、高纯水储存罐、用于计量所述液态氟化氢原料罐的第一电子称、用于计量所述高锰酸钾供料罐的第二电子称和用于计量所述高纯水储存罐的第三电子称；