[实用新型]三维扫描微型光学探头

权利要求书

1.三维扫描微型光学探头，包括：

准直透镜，用于准直来自激光输入光纤输出的激光以及减少不同频率激光之间的色差并输出激光信号；

其特征在于，还包括：

二向色镜扫描器，用于将激光和非线性光学信号分开以及输出所述非线性光学信号，还用于改变激光的入射角角度让激光对活体样本内部组织的平面进行二维点扫描；

物镜，用于将来自二向色镜扫描器的激光会聚到活体样本内部，以激发活体样本产生非线性光学信号以及用于输出非线性光学信号；

聚焦透镜，用于激光聚焦；

波片：用于改变激光的偏振方向；

垂直二向色镜扫描器，用于进行远端Z轴扫描，实现三维成像；

收集透镜，用于收集非线性光学信号并输入激光输出光纤。

2.根据权利要求1所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：还包括反射镜，反射镜设置在准直透镜和二向色镜扫描器之间的光路上，用于调整准直透镜输出激光的角度并反射至二向色镜扫描器，材料为光学玻璃或高分子聚合物，反射镜包括透射面和反射面，透射面有增强透射率的光学镀膜，反射面有增强反射率的光学镀膜。

3.根据权利要求1所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：二向色镜扫描器包括二向色镜片和不影响非线性光学信号透射的环形的微机电驱动器，所述二向色镜片覆盖于环形的微机电驱动器上，所述微机电驱动器可驱使二向色镜片改变角度，或者通过工艺集成的方法，使用对可见光和近红外光相对透明的材料，如二氧化硅，制作可动镜片，并在可动镜片上进行光学镀膜加工，形成二向色镜。

4.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：二向色镜扫描器的晶圆的背面用蚀刻技术掏空有用于非线性光学信号透射过的透射孔，透射孔位于二向色镜背面，二向色镜扫描器位于物镜的后焦平面。

5.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：二向色镜扫描器的二向色镜为偏振敏感型，反射S型偏振光，透射p型偏振光。

6.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：还包括激光输入光纤，所述激光输入光纤为大模场单模光纤或保偏光纤或光子晶体光纤。

7.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：还包括激光输出光纤，所述激光输出光纤为光纤束或多模光纤。

8.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：垂直二向色镜扫描器包括二向色镜片和不影响非线性光学信号透射的环形的微机电驱动器，所述二向色镜片覆盖于环形的微机电驱动器上，所述微机电驱动器可驱使二向色镜片垂直于芯片表面运动，或者通过工艺集成的方法，使用对可见光和近红外光相对透明的材料，如二氧化硅，制作可动镜片，并在可动镜片上进行光学镀膜加工，形成二向色镜。

9.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：垂直二向色镜扫描器的晶圆的背面用蚀刻技术掏空有用于非线性光学信号透射过的透射孔，透射孔位于垂直二向色镜背面，垂直二向色镜扫描器位于聚焦透镜的后焦平面。

10.根据权利要求1-3任一项所述的三维扫描微型光学探头，其特征在于：还包括外壳，外壳为高分子聚合物的材料的密封结构，聚焦透镜、准直透镜、收集透镜、二向色镜扫描器、玻片、垂直二向色镜扫描器、物镜以及反射镜均安装于外壳内。