[实用新型]真空干燥设备

说明书

本实用新型涉及一种真空干燥设备，包括真空腔室、载台、至少两个导流板及抽真空装置。真空腔室的顶部设有抽真空口，载台及至少两个导流板位于真空腔室内，各导流板均与载台对应设置且依次间隔设于载台的一侧，各导流板均设有相应的开孔区，各开孔区均设有导流孔；在载台至各导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个开孔区的至少部分导流孔相互错开。抽真空装置与抽真空口连通，且抽真空口位于各导流板的上方。上述真空干燥设备干燥时，在待处理工件与第一个导流板之间，待处理工件挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直于液面方向上运动，从而改善了真空干燥过程中干燥不均导致成膜不均的问题。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种真空干燥设备。

背景技术

真空干燥设备是常用的机械设备，其在有机发光二极管(Oganic Light-EmittingDiode，OLED)制作中应用也很广泛。

有机发光二极管因其在全色显示、背光源等方面有着广阔的应用前景而受到人们的广泛关注。基于喷墨打印技术的溶液加工型有机发光二极管具有成本低、容易实现大面积制作等优势。目前的OLED喷墨打印通常是在图案化的基板上，在像素坑中采用喷墨打印技术形成各有机功能层，喷墨打印后的有机功能层需采用真空干燥设备进行真空干燥处理。由于喷墨打印技术所用的墨水均含有溶剂，在真空干燥设备中的干燥过程中基板边缘的像素与基板中间的像素的溶剂氛围不一致，基板边缘的像素的干燥速度比中间像素的干燥速度快，导致基板边缘与中部的像素坑中的有机功能层薄膜厚度不均，从而使得制成的显示面板的边缘产生亮度不均、斑点等显示不良的问题。

已有的解决方案是在基板显示区的四周制作Dummy像素(即虚拟像素)或改变像素限定层的结构。然而在基板显示区的四周制作Dummy像素，使得显示区的面积减小，不适用于目前显示面板的窄边框和全面屏的发展潮流；而改变像素限定层的结构增加了工艺难度，使得工艺复杂，不利于控制成本。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够有效改善干燥不均问题的真空干燥设备。

一种真空干燥设备，包括：

真空腔室，所述真空腔室的顶部设有抽真空口；

载台，位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件；

至少两个导流板，位于所述真空腔室内，各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方，各所述导流板均设有相应的开孔区，各所述开孔区均设有导流孔；在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开；及

抽真空装置，与所述真空腔室的抽真空口连通，且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。

上述真空干燥设备工作时，将待处理工件置于载台上，并采用抽真空装置抽取真空。在抽取真空的过程中，由于各导流板的作用，气流从载台经过各导流板的导流孔向真空腔室外流动，因此在待处理工件与相对的第一个导流板之间形成接近垂直且均匀稳定的气流，待处理工件挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直向上运动，从而改善了真空干燥过程中干燥不均导致成膜不均的问题，从而提高了干燥效果。

特别地，上述真空干燥设备可适用于OLED器件的墨水干燥，墨水挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直向上运动，使得各像素在干燥过程中的溶剂氛围一致，改善像素内墨水成膜效果，进而改善了制成的显示面板的边缘产生亮度不均、斑点等显示不良的问题，提高了显示面板的显示良率。该真空干燥设备用于干燥喷墨打印好的OLED器件，无需在OLED器件的基板显示区的四周制作Dummy像素或改变像素限定层的结构，可适用于窄边框或全面屏的显示面板，且无需改变像素限定层结构的复杂工艺，有利于降低成本。