[实用新型]一种低温泵冷凝吸附装置

说明书

本实用新型公开了一种低温泵冷凝吸附装置，包括中心导热件和与中心导热件相连的螺旋状冷伞片；仅需要制作一个螺旋状的冷伞片，该冷伞片可以先以线切割等方式，切割出一块长条弧形的薄铜板，然后卷制整形成螺旋形；仅需以一个零件，代替多个零件，节省了旋压或冲压的模具，制作方法简单，也减少了零件数量，组装装配更加方便。

技术领域

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其涉及一种低温泵冷凝吸附装置。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝或吸附气体的一种真空泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路、真空镀膜、离子注入机和空间模拟等行业。

如图1所示，是一个典型的低温泵结构，包括法兰1、一级挡板2、防辐射屏3、冷伞4、冷头5和制冷机6。该低温泵在运行时，制冷机6持续产生冷量，使防辐射屏3、一级挡板2和冷伞4保持在低温状态。制冷机6分为一级冷头和二级冷头。制冷机6一级冷头与防辐射屏3和一级挡板2连接，通常温度为60～100K，可以使空间内的水蒸气、二氧化碳等气体在其表面冷凝。制冷机6二级冷头与冷伞4连接，通常温度为10～20K，可以使空间内的氮气、氧气、氩气等气体在其表面冷凝，另有氢气、氦气等非凝性气体被冷伞内表面粘接的活性炭低温吸附。通过低温冷凝和低温吸附等手段，低温泵将空间内的几乎所有气体都抽除，获得高真空。

如图2所示，是一个典型的冷伞4结构，该冷伞由多个冷伞片401组合而成，冷伞片401可能是全圆型或半圆形，多个冷伞片401之间由安装架或支架(图中未显示)相互串联，从上往下累积多层，冷伞片401与安装架或支架支架通过铆钉、螺钉或焊接等形式连接。

对于原冷伞4，需要事先制造多个冷伞片401，该冷伞片401通常以旋压、或者冲压等方案制成，制造过程比较复杂。

实用新型内容

鉴于目前存在的上述不足，本实用新型提供一种低温泵冷凝吸附装置，节省了旋压或冲压的模具，制作方法简单，也减少了零件数量，组装装配更加方便。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种低温泵冷凝吸附装置，所述冷凝吸附装置包括中心导热件和与中心导热件相连的螺旋状冷伞片。

依照本实用新型的一个方面，所述螺旋状冷伞由长条弧形的导热板卷制而成。

依照本实用新型的一个方面，所述中心导热件为柱形，所述螺旋状冷伞为卷绕在柱形中心导热件上的螺旋柱形结构。

依照本实用新型的一个方面，所述中心导热件为锥形，所述螺旋状冷伞为卷绕在柱形中心导热件上的螺旋锥形结构。

依照本实用新型的一个方面，所述螺旋状冷伞片的材质为铜。

依照本实用新型的一个方面，所述螺旋状冷伞片与所述中心导热件之间通过紧固件的方式连接或通过焊接的方式连接。

本实用新型实施的优点：本实用新型所述的冷凝吸附装置，包括中心导热件和与中心导热件相连的螺旋状冷伞片；仅需要制作一个螺旋状的冷伞片，该冷伞片可以先以线切割等方式，切割出一块长条弧形的薄铜板，然后卷制整形成螺旋形；仅需以一个零件，代替多个零件(冷伞片401)，节省了旋压或冲压的模具，制作方法简单，也减少了零件数量，组装装配更加方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型背景技术所述的低温泵结构示意图；

图2为本实用新型背景技术所述的传统冷伞结构示意图；