[实用新型]一种抗压式气体质量流量控制器

说明书

本实用新型公开了一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口、减压阀、流气管、气阻桶和控制杆，所述进气口的下方设置有第一过滤管，且第一过滤管的左侧设置有第二过滤管，所述第二过滤管的内部设置有过滤板，且第二过滤管的底部设置有管盖，所述减压阀位于第一过滤管的右侧，且减压阀的下方设置有空气流量传感器，所述流气管的位于空气流量传感器的下方，且流气管的内部上下两侧均设置有连接块，所述气阻桶位于连接块的上方，且连接块的下方设置有出气管，所述出气管的内部设置有挡气带，且出气管的左侧设置有阀体，所述控制杆位于阀体的左侧。该抗压式气体质量流量控制器，解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题。

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种抗压式气体质量流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器是微电子领域、化工领域等常用的元件，气体质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用，一般的气体流量质量控制器抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤，因此，我们提出一种抗压式气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抗压式气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的气体质量流量控制器抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口、减压阀、流气管、气阻桶和控制杆，所述进气口的下方设置有第一过滤管，且第一过滤管的左侧设置有第二过滤管，所述第二过滤管的内部设置有过滤板，且第二过滤管的底部设置有管盖，所述减压阀位于第一过滤管的右侧，且减压阀的下方设置有空气流量传感器，并且空气流量传感器的顶部设置有橡胶圈，所述流气管的位于空气流量传感器的下方，且流气管的内部上下两侧均设置有连接块，所述气阻桶位于连接块的上方，且连接块的下方设置有出气管，所述出气管的内部设置有挡气带，且出气管的左侧设置有阀体，所述控制杆位于阀体的左侧。

优选的，所述第一过滤管与第二过滤管构成“Y”字形结构，且第一过滤管的内部呈螺旋状结构。

优选的，所述第二过滤管与过滤板的连接方式为卡合连接，且过滤板呈网状结构。

优选的，所述减压阀设置有2组，且减压阀与流气管的连接方式为螺纹连接。

优选的，所述连接块呈中空结构，且气阻桶通过连接块与流气管相连接，并且气阻桶的侧边呈折线型结构。

优选的，所述控制杆与出气管构成左右滑动结构，且控制杆的底部竖直截面呈梯形结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该抗压式气体质量流量控制器，具有抗压功能，能够进行气体杂质的过滤；

(1)本实用新型设置有第一过滤管和第二过滤管，第一过滤管和第二过滤管构成“Y”形过滤器，能够将气体的杂质留在第二过滤管内，纯净的气体流进第一过滤管，对气体的杂质过滤，保证气体的质量；

(2)本实用新型设置有过滤板，过滤板与第二过滤管的连接方式为卡合连接，便于将过滤板从第二过滤管中拆除，对其进行清洗更换；

(3)本实用新型设置有减压阀，2组减压阀更加有效的降低控制器内部的气压，起到抗压功效，保护控制器内部的零件；

(4)本实用新型设置有气阻桶，气阻桶的侧边呈折线形结构，能够减慢气体的流动速度，减少气压的产生。

附图说明

图1为本实用新型的局部剖视图；

图2为本实用新型中的第一过滤管和第二过滤管结构示意图；

图3为本实用新型中的流气管内部结构示意图；