[实用新型]光罩检验支架

说明书

本实用新型实施例提供一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。本实用新型实施例通过基座和枢接于基座上的旋转架的结构，采用旋转旋转架的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座和旋转架之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。

技术领域

本实用新型实施例涉及检验光罩用的辅助设备技术领域，尤其涉及一种光罩检验支架。

背景技术

在光罩的制作过程中，需要对光罩的性能进行检测，以避免不合格的半成品光罩进入下道工序、或者避免不合格的成品光罩进入市场。检测光罩时，一般会用到光学检验机构，光学检验机构包括支撑杆及与支撑杆转动连接的支架。检测时将光罩放置在支架上，然后转动支架，使用光学检测设备在要求的检验角度对支架上的光罩进行检测。但这种光学检验机构上没有锁定节构，在检测时不能固定支架的旋转角度，使得检测结果易出现偏差。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩检验支架，提高光罩的检验效果和检验效率。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。

进一步地，所述基座和旋转架通过滚珠轴承连接，所述基座与滚珠轴承的外圈相对固定，所述旋转架与滚珠轴承的内圈相对固定。

进一步地，所述旋转架和基座上分别设有旋转轴和与所述旋转轴对应枢接的轴孔，所述旋转轴和轴孔两者中的一个设置在旋转架上而另一个设置在基座上。

进一步地，所述锁定结构包括设在基座顶部一侧的活动插销以及设置于旋转架底部且分别在旋转架处于初始位置和旋转角度位置时正对所述活动插销的位置处供活动插销插入的销孔。

进一步地，所述旋转架包括底部与基座枢接的底边框以及以底端垂直连接于底边框的末端用于固定光罩的侧边框。

进一步地，所述旋转架为PVC或不锈钢制成。

进一步地，所述基座为PVC或不锈钢制成。

进一步地，所述限位结构为一一对应地设置在底边框顶面和侧边框上的多条不同宽度的限位卡槽，光罩的底边缘和侧边缘分别对应卡入底边框和侧边框上的限位卡槽内而定位。

采用上述技术方案，本实用新型实施例至少具有以下有益效果：本实用新型实施例通过基座和枢接于基座上的旋转架的结构，采用旋转旋转架的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座和旋转架之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。

附图说明

图1是本实用新型光罩检验支架一个实施例旋转架的立体结构示意图。

图2是本实用新型光罩检验支架一个实施例一个视角的结构示意图。

图3是本实用新型光罩检验支架一个实施例另一个视角的结构示意图。

具体实施方式