[实用新型]一种抽气装置

说明书

一种抽气装置，与调整装置，GM处理装置以及微蚀装置其中一个或多个连接，所述调整装置，GM处理装置以及微蚀装置均设置在箱体内，其中，所述抽气装置包括多个气管，所述抽气装置与GM处理装置、微蚀装置以及调整装置均至少通过一个气管连接，在气管与箱体连接处，位于箱体内部设置有空气质量传感器，通过所述传感器检测箱体内的空气质量，在多个气管的末端还设置有加压装置，通过所述加压装置作用，对箱体进行抽气，通过本实用新型所述装置能够对箱体内的气体进行抽出，减少污染气体对石墨烯板的侵蚀。

技术领域

本实用新型涉及石墨烯领域，尤其涉及一种抽气装置。

背景技术

石墨烯是由单层碳原子组成、具有片状结构的二维新材料。由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型劲歌平面的薄膜。是其他类石墨材料的基础材料。该材料自2004年被发现后，受到了世界科学及工程界的广泛关注。石墨烯是目前世界上最薄也是最坚硬的材料，具有极低的吸光率(2-3％)，极高的导热系数(5300W/mk)和电子迁移率(15000cm 2/v.s)，极低的电阻率(10-6Ω/cm)，以及极高的机械强度(钢的100倍)。因此石墨烯的应用范围广阔。根据石墨烯厚度小，强度大的特性，石墨烯可被广泛应用于各领域，比如超轻防弹衣，超薄超轻型飞机材料等。根据其优异的导电性，使它在微电子领域也具有巨大的应用潜力。石墨烯有可能会成为硅的替代品，制造超微型晶体管，用来生产未来的超级计算机，碳元素更高的电子迁移率可以使未来的计算机获得更高的速度。另外石墨烯材料还是一种优良的改性剂，在新能源领域如超级电容器、锂离子电池方面，由于其高电导性、高比表面积，可适用于作为电极材料助剂，在对石墨烯金属化处理过程中，由于环境因素，例如环境内空气质量不好，会导致石墨烯金属化过程中，性能受到影响，降低了效率。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种抽气装置，旨在解决石墨烯金属化处理过程中废气处理的问题。

本实用新型的技术方案如下：

一种抽气装置，与调整装置，GM处理装置以及微蚀装置其中一个或多个连接，所述调整装置，GM处理装置以及微蚀装置均设置在箱体内，其中，所述抽气装置包括多个气管，所述抽气装置与GM处理装置、微蚀装置以及调整装置均至少通过一个气管连接，在气管与箱体连接处，位于箱体内部设置有空气质量传感器，通过所述传感器检测箱体内的空气质量，在多个气管的末端还设置有加压装置，通过所述加压装置作用，对箱体进行抽气。

所述的抽气装置，其中，所述加压装置连接有过滤器，通过所述过滤器对抽取的气体进行过滤，并排出。

所述的抽气装置，其中，所述气管末端还设置有阀门，通过所述阀门控制所述气管的开启或关闭。

所述的抽气装置，其中，所述加压装置为气泵。

所述的抽气装置，其中，所述气管为圆柱形。

有益效果：一种抽气装置，与调整装置，GM处理装置以及微蚀装置其中一个或多个连接，所述调整装置，GM处理装置以及微蚀装置均设置在箱体内，其中，所述抽气装置包括多个气管，所述抽气装置与GM处理装置、微蚀装置以及调整装置均至少通过一个气管连接，在气管与箱体连接处，位于箱体内部设置有空气质量传感器，通过所述传感器检测箱体内的空气质量，在多个气管的末端还设置有加压装置，通过所述加压装置作用，对箱体进行抽气，通过本实用新型所述装置能够对箱体内的气体进行抽出，减少污染气体对石墨烯板的侵蚀。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1为本实用新型所述抽气装置的结构示意图。

图2为石墨烯金属化处理系统的结构示意图。

具体实施方式