[实用新型]一种真空开泄气一体阀

权利要求书

1.一种真空开泄气一体阀，其特征在于，包括：高真空阀、真空泄压阀和阀体基板，所述阀体基板上开设有工艺孔，其上还设有一组、二组、三组或三组以上电磁阀，所述工艺孔与所述电磁阀连接，所述高真空阀与所述真空泄压阀均通过电磁阀控制其打开或闭合。

2.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，高真空阀腔体内设有活塞和真空阀芯，所述活塞与真空阀芯固定连接。

3.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，真空泄压阀腔体内设有泄压阀芯，所述泄压阀芯上设有密封圈，所述密封圈与所述泄压阀芯固定连接。

4.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述真空开泄气一体阀包括：阀座，所述阀体基板与所述阀座之间设有阀体下端，所述阀座与所述阀体下端固定连接。

5.根据权利要求4所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述阀座上设有泄压孔和真空孔，所述泄压孔和真空孔均与所述阀座相通。

6.根据权利要求5所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述泄压孔与真空泄压阀腔体相通，所述真空孔与高真空阀腔体相通。

7.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述真空开泄气一体阀包括：钢圈，所述阀座上设有钢圈放置处，所述钢圈放置处用于放置所述钢圈，所述钢圈放置处还设有钢圈密封圈。

8.根据权利要求7所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述真空开泄气一体阀包括：阀顶，所述阀顶挤压所述钢圈密封圈控制高真空阀闭合，所述阀顶离开所述钢圈密封圈控制高真空阀打开。

9.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述的真空开泄气一体阀与真空泵固定连接。

10.根据权利要求1所述的真空开泄气一体阀，其特征在于，所述真空开泄气一体阀包括：接线板，所述接线板与所述电磁阀电连接。