[实用新型]一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉的加热装置

说明书

本实用新型涉及一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉的加热装置，包括外箱体、底座，还包括防辐射层、加热器、保温材料、控制箱、温度控制器和报警器，所述的外箱体为长方体，所述的外箱体中部设置容纳焊剂箱的凹槽，所述外箱体和凹槽内形成加热腔体，所述的加热腔体的底面、四个侧面、顶面的内表面上设置有防辐射层，所述的加热腔体底面和侧面上设置有加热器，所述的加热器包括U型加热器和直线加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述控制箱设置在所述底座上，所述控制箱上设置温度控制器、电源开关和报警器，所述的加热器、温度控制器、电源开关、报警器通过导线和控制箱连接在一起。本实用新型提供了一种能够均匀加热焊料，提高生产效率的用于金属靶材绑定的智能箱式炉的加热装置。

技术领域

本实用新型属于一种加热装置，具体涉及一种用于金属靶材绑定的箱式炉的加热装置。

背景技术

20世纪90年代以来，随着溅射技术的不断发展，各种溅射膜极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求，特别在微电子、显示器、存储等领域，得到了广泛的应用。目前的各种溅射薄膜主要采用真空磁控溅射法来生产，在生产的过程中，先对靶材进行绑定，然后在高真空室中充入所需要的惰性气体，在被溅射的靶极与阳极之间加一个正交磁场和电场，在电场的作用下，惰性气体电离成正离子和电子，离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。

在靶材和背板绑定时，需要将焊料加热熔化，均匀地涂在靶材和背板上，冷却后两者得到牢固的结合。将焊剂放到箱式炉里，保持一定的温度，让焊剂充分地熔化，然后将焊剂填充到靶材和背板之间，进行绑定，效果比较理想，但是现有的箱式炉的加热装置，受热不均匀，容易造成局部温度过高或过低，在使用过程中会造成绑定不牢，容易产生应力造成靶材开裂，进而影响最终产品的质量。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种能够均匀加热焊料，提高生产效率的用于金属靶材绑定的智能箱式炉的加热装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种用于金属靶材绑定的智能箱式炉的加热装置，包括外箱体、底座，还包括防辐射层、加热器、保温材料、控制箱、温度控制器和报警器，所述的外箱体为长方体，所述的外箱体中部设置容纳焊剂箱的凹槽，所述外箱体和凹槽内形成加热腔体，所述的加热腔体的底面、四个侧面、顶面的内表面上设置有防辐射层，所述的加热腔体底面和侧面上设置有加热器，所述的加热器包括U型加热器和直线加热器，所述的加热腔体内填充保温材料，所述控制箱设置在所述底座上，所述控制箱上设置温度控制器、电源开关和报警器，所述的加热器、温度控制器、报警器、电源开关、通过导线和控制箱连接在一起。

优选地，所述的加热腔体的底面设置2个直线加热器和4个U型加热器。

优选地，所述的2个直线加热器分别设置在加热腔体底面的内侧和外侧，所述的4个U型加热器首尾相对，设置在加热腔体底面的中间。

优选地，所述的2个直线加热器分别设置在加热腔体底面的内侧和外侧，所述的4个U型加热器，中间的2个开口方向朝外，两边的2个U型加热器开口方向朝内，设置在加热腔体底面的中间。

优选地，所述的加热腔体的每个侧面上设置2个直线加热器和3个U型加热器。

优选地，所述的2个直线加热器分别设置在加热腔体侧面的顶端和下端，所述的3个U型加热器横向放置，首尾相对，设置在加热腔体侧面的中部。

本实用新型的积极有益效果：