[实用新型]一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置有效
| 申请号： | 201820768500.3 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208485908U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 程平 | 申请（专利权）人： | 合肥中晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26;C21D1/74;C21D9/56 |
| 代理公司： | 合肥中谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34146 | 代理人： | 洪玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 键合线 支管 管道装置 连续退火 微细 本实用新型 主管内部 退火炉 主管 氮气 连续热处理 热处理效率 热处理 氩气 保护气体 退火工序 微细金属 一端连接 有效解决 主管管壁 保护气 分出 根键 线缆 易被 连通 平行 穿过 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：包括主管(1)和支管(2)，所述支管(2)的一端连接于主管(1)管壁并与主管(1)内部连通，支管(2)的另一端平行于主管(1)分出后连接有外部保护气源。
2.根据权利要求1所述的一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：所述支管(2)的一端连接在主管(1)管壁的中间位置。
3.根据权利要求1所述的一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：所述支管(2)用于连接外部保护气源的一端设为向外弯曲结构。
4.根据权利要求1所述的一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：所述主管(1)的两端均设为锥形口结构。
5.根据权利要求1所述的一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：所述支管(2)管壁与主管(1)管壁之间至少设有两个用于固定支管(2)的固定点(3)。
6.根据权利要求1所述的一种极微细键合线保护性气氛连续退火管道装置，其特征在于：所述主管(1)的管径为大于支管(2)的管径。
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