[实用新型]一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置

说明书

本实用新型公开了一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体、PLC控制器、检测仪、进液口、出液口，检测仪的探头伸入腔体内与剥离液接触，腔体后端底部还设有回流口，回流口连接有回流泵，腔体前端中部还设有电机，电机与搅拌轴相连，搅拌轴伸入腔体中，腔体的外部设有恒温层，与恒温水箱相连，还设置有温度传感器，温度传感器的探头与剥离液接触，PLC控制器设置在腔体顶部，PLC控制器与检测仪、出液泵、回流泵、电机、恒温水箱和温度传感器电连接。本实用新型通过搅拌轴和恒温层的设计，使剥离液更均匀，获得的检测数据更准确。通过PLC控制器、出液口、出液泵的设计，不合格剥离液可自动回流至前端调配装置。

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，具体涉及一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置。

背景技术

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。在剥离液应用过程产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。从资源化的观点出发，循环再生这些剥离液不仅可以减少对环境的危害，还能降低企业的生产成本。

通常情况下，经过脱水精馏、薄膜蒸发、产品精制等过程进行剥离液的再生，但是剥离液在应用过程中，对其有效成分的浓度配比有较为严格的要求，而再生剥离液浓度配比是否符合使用要求，需要对其进行检测后方能确定。如检测浓度不合格的，需将剥离液返回进行浓度调配，调配后需要再次检测进行浓度确认，流程非常麻烦。

实用新型内容

本实用新型基于上述背景，目的在于解决如何自动对再生剥离液浓度进行精确检测，并自动将检测不合格的剥离液泵回浓度调配装置的问题，提出一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体、PLC控制器、检测仪、进液口、出液口，其特征在于：所述进液口设置于腔体前端的顶部，所述出液口设置于腔体后端的下部，所述出液口连接有出液泵，所述检测仪设置在腔体顶部，检测仪的探头伸入腔体内与剥离液接触，所述腔体后端底部还设有回流口，所述回流口连接有回流泵，所述腔体前端中部还设有电机，所述电机与搅拌轴相连，所述搅拌轴伸入腔体中，腔体的外部设有恒温层，所述恒温层将腔体完全包围，所述恒温层的前端底部设有进水口，所述进水口连接有恒温水箱，所述恒温水箱带有流速控制器，所述恒温层后端顶部设有出水口，所述腔体顶部还设置有温度传感器，所述温度传感器的探头伸入腔体内与剥离液接触，所述PLC控制器设置在腔体顶部，PLC控制器与检测仪、出液泵、回流泵、电机、恒温水箱和温度传感器电连接。

进一步地，所述搅拌轴上至少有一对叶片。

进一步地，所述PLC控制器上设有显示器。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、在腔体外设有电机，电机可带动搅拌轴转动，使进入腔体的剥离液更均匀，获得的检测数据更准确。

2、腔体外还有恒温层，进一步降低了温度变化对检测数据准确性的影响。

3、在腔体后端设有出液口、出液泵以及回流口、回流泵，当检测数据不合格时，PLC控制器可控制回流泵和出液泵的启闭，控制剥离液往回流口流出，并返回到浓度调配工序中。

4、从新调配的剥离液从进液口再次进入腔体，可快速实现二次检测。

5、本是实用新型自动实现检测、出液，以及不合格剥离液的回流，自动化程度高，工作效率高，还降低了人工成本。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型控制系统示意图。