[实用新型]一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统

说明书

一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统，包括塔体，塔体上部为蒸发腔，中部和下部为成膜腔，塔体顶部设有转动电机，转动电机连接有竖直穿设于塔体内的转轴，转轴中部和下部设有刮板，轴上部设有分配盘，分配盘包括设于上方的倒立锥形网板和设于倒立锥形网板下方的正立锥形网板，刮板外侧连接有一组弧形刮片，成膜腔外壁设有多个相互隔开的蒸汽加热腔，蒸汽加热腔的间隔处设有超声振动器，各蒸汽加热腔上设有蒸汽入口和蒸汽出口，成膜腔顶部侧壁设有进液口，蒸发腔顶部侧壁设有连接冷凝器的排汽管，成膜腔底部有浓缩液排出口，塔体内壁抛光处理。提高进入液的分布均匀性和蒸汽加热均匀性，提高蒸发分离效率和效果，且不易产生结垢。

技术领域

本实用新型涉及剥离液再生，尤其与一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统有关。

背景技术

剥离液在微电子行业大量使用，应用于印刷电路板、液晶显示器、半导体集成电路等工艺制造中。对于使用后的剥离液废液，含有可再利用的组分以及可再利用的剥离液，若是能合理的实现再生利用，将极大降低成本。

薄膜蒸发器是剥离液再生工艺段的关键工序设备，通过蒸发器实现分离。现有的蒸发器在使用中存在，蒸汽加热均匀性不好，效率不够理想，塔体内壁易产生结垢等问题。

实用新型内容

本实用新型提一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统，以解决上述问题，提高进入液的分布均匀性和蒸汽加热均匀性，提高蒸发分离效率和效果，且不易产生结垢。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统，包括塔体，塔体上部为蒸发腔，中部和下部为成膜腔，塔体顶部设有转动电机，转动电机连接有竖直穿设于塔体内的转轴，转轴中部和下部设有刮板，其特征在于，转轴上部设有分配盘，分配盘包括设于上方的倒立锥形网板和设于倒立锥形网板下方的正立锥形网板，刮板外侧连接有一组弧形刮片，成膜腔外壁设有多个相互隔开的蒸汽加热腔，蒸汽加热腔的间隔处设有超声振动器，各蒸汽加热腔上设有蒸汽入口和蒸汽出口，成膜腔顶部侧壁设有进液口，蒸发腔顶部侧壁设有连接冷凝器的排汽管，成膜腔底部有浓缩液排出口，塔体内壁抛光处理。

进一步，所述刮板自上而下交错布置。

进一步，所述蒸汽入口均连接蒸汽进气管，蒸汽出口均连接蒸汽出气管，蒸汽出气管连接蒸汽加热器，蒸汽加热器连接蒸汽进气管的蒸汽输入端。

进一步，所述蒸汽加热腔有4~8个。

本实用新型的有益效果：

1、薄膜蒸发器的成膜腔上部增设分配盘，且分配盘是由两个锥形网板对立组合构成，利于过滤液从进液口进入后，在转动的分配盘的作用下，连续均匀的分布到垂直的塔体加热面上；

2、成膜腔外壁设有多个相互隔开的蒸汽加热腔，每个蒸汽加热腔配备入口和出口，便于提高蒸汽加热的效率和均匀性；

3、蒸汽出气管收集蒸汽，通过蒸汽加热器后，可汇入蒸汽输入端继续使用，减少直接输入的热能，节省能耗；

4、通过对塔体内壁进行抛光处理，同时增加超声振动器可对塔体壁进行振动，极大降低结垢可能性；同时将刮板具体结构设置为刮板加上弧形刮片，通过前、后两个刮片为一组，实现成膜，降低结垢可能性。

附图说明

图1是本实用新型结构图。

图2是本实用新型刮板俯视图。

具体实施方式

如图1~2所示，一种剥离液再生工艺段的薄膜蒸发系统，包括塔体1，塔体1上部为蒸发腔11，中部和下部为成膜腔12，塔体1顶部设有转动电机2，转动电机2连接有竖直穿设于塔体1内的转轴21，转轴21中部和下部设有刮板23。