[实用新型]一种晶体生产多段式加热器

权利要求书

1.一种晶体生产多段式加热器，包括加热器壳体(1)，其特征在于：所述加热器壳体(1)的上端固定连接有定位板(2)，所述定位板(2)的上端设有盖板(3)，且盖板(3)与定位板(2)之间通过紧固螺钉(4)螺纹连接，所述加热器壳体(1)的内部底端固定连接有第一隔板(5)，所述第一隔板(5)的上端安装有第二隔板(6)，所述第二隔板(6)的上端安装有第三隔板(7)，所述第一隔板(5)的底端中心处固定连接有加热器(8)，所述第一隔板(5)的顶端固定连接有导热管(9)，且导热管(9)的两侧固定连接有散热管(10)，所述第三隔板(7)的顶端一侧固定连接有第一坩埚(11)，且第一坩埚(11)的底端贯穿第三隔板(7)的内部延伸至第三隔板(7)的底端与第一电磁阀(12)之间固定连接，所述第一电磁阀(12)的底端与第二坩埚(13)之间固定连接，且第二坩埚(13)的底端贯穿第二隔板(6)的内部延伸至第二隔板(6)的底端与第二电磁阀(14)之间固定连接，所述第二电磁阀(14)的底端固定连接有第三坩埚(15)，且第三坩埚(15)的底端贯穿第一隔板(5)的内部延伸至第一隔板(5)的底端与第三电磁阀(16)之间固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生产多段式加热器，其特征在于：所述加热器壳体(1)的内部，且第一隔板(5)的底端处设有储存室(17)。

3.根据权利要求1所述的一种晶体生产多段式加热器，其特征在于：所述加热器壳体(1)的底端安装有出料口(18)，所述加热器壳体(1)的底端，且出料口(18)的两侧固定连接有支撑腿(19)。

4.根据权利要求1所述的一种晶体生产多段式加热器，其特征在于：所述第二隔板(6)和第三隔板(7)的底端中心处均安装有加热器(8)，所述第二隔板(6)和第三隔板(7)的顶端均安装有导热管(9)，且导热管(9)的两侧均安装有散热管(10)。

5.根据权利要求1所述的一种晶体生产多段式加热器，其特征在于：所述加热器(8)与导热管(9)之间通过导线电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶体生产多段式加热器，其特征在于：所述第一坩埚(11)、第一电磁阀(12)、第二坩埚(13)、第二电磁阀(14)、第三坩埚(15)和第三电磁阀(16)在加热器壳体(1)的内部对称设置安装有两组。