[实用新型]坩埚护板

权利要求书

1.一种坩埚护板，其特征在于：包括板体、设于所述板体内的导热板和分别设于所述板体对立侧壁上的第一装配板和第二装配板，所述板体上端设有限流孔，所述限流孔包括朝向石英坩埚设置的排气孔和与所述排气孔相连通的进气孔，所述进气孔背向所述石英坩埚设置，所述排气孔的孔径小于所述进气孔的孔径，且所述进气孔的孔径从与所述板体外壁的接触端朝向所述进气孔依序减小，所述排气孔的内壁上设有限流柱，所述限流柱背向所述排气孔的内壁凸起，所述限流柱用于降低所述排气孔的孔径，所述排气孔用于通过采用小孔径的方式以降低所述进气孔朝向所述石英坩埚输送的二氧化碳气体，所述导热板的两侧与所述板体的内壁贴合，所述导热板用于对所述石英坩埚进行均匀导热。

2.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述导热板包括依序连接的第一挡板、第二挡板、第三挡板和第四挡板，所述第一挡板和所述第三挡板均与所述板体的内壁贴合，所述第二挡板和所述第三挡板上均设有多个导热孔。

3.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述第一装配板和所述第二装配板的侧表面上分别设有螺栓孔和固定螺栓，所述螺栓孔和所述固定螺栓相匹配。

4.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述板体下端侧壁和下端底面上分别对应设有安装孔和溢流槽，所述溢流槽采用椭圆形结构并朝向所述板体的内部凹陷。

5.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述进气孔和所述排气孔的内壁均采用弧形凹陷结构，且所述排气孔朝向内部凹陷，所述进气孔朝向外部凹陷。

6.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述排气孔的深度小于所述进气孔的深度，且所述排气孔与所述进气孔之间的深度和等于所述板体的厚度。

7.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述第一装配板内设有抽气组件，所述抽气组件包括风扇和与所述风扇电性连接的电机，所述风扇加快所述坩埚护板对所述坩埚的降温。

8.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述第一装配板与所述板体之间、所述第二装配板与所述板体之间、所述导热板与所述板体之间采用一体注塑、焊接或粘贴的方式进行匹配连接。

9.根据权利要求1所述的坩埚护板，其特征在于：所述限流柱上设有吸附层，所述吸附层套设在所述限流柱的表面，所述吸附层用于对所述限流孔内的二氧化碳气体进行吸收。