[实用新型]用于1064nm的变角窄带滤光膜

说明书

本实用新型实施例公开了一种用于1064nm的变角窄带滤光膜，包括：F‑P型多腔窄带滤光片，所述F‑P型多腔窄带滤光片由滤光片基底，以及分别设置在滤光片基底两面的特性相同的反射膜系构成；所述滤光片基底为HB850颜色玻璃，用于截止掉810nm以下的光谱；长波带通滤光膜，所述长波带通滤光膜镀制在所述F‑P型多腔窄带滤光片的外侧，用于将800nm～970nm波段的光能量截止掉。本实用新型技术固化工艺后，形成的薄膜产品针对1064nm激光工作波长，具备膜层均匀性好，高峰值透过率大于90％，高带外抑制比小于1/1000，中心波长稳定性好，可变角度范围为0°‑20°，膜层损耗及应力小、牢固度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及滤光膜技术领域，尤其是一种用于1064nm的变角窄带滤光膜。

背景技术

窄带滤光膜是一种附着于光学镜片材料表面的介质涂层，基于干涉原理，可以在特定的波段允许光信号通过，而偏离这个波段以外的两侧光信号被抑制，窄带滤光膜的通过波段相对较窄，一般为中心波长值的5％以下。

现有技术的窄带滤光薄膜是针对特定单一角度入射光的情况，并且相关的滤光膜相对于其它种类的薄膜存在可变角度设计、材料选择、损伤机理分析、均匀性和抗激光能力提升以及制备工艺方面的多个技术难点，这已经制约了激光系统性能的有效提升。

因此，现有技术需要改进。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于1064nm的变角窄带滤光膜，以解决上述问题。

根据本实用新型实施例的一个方面，提供的一种用于1064nm的变角窄带滤光膜，包括：F-P型多腔窄带滤光片，所述F-P型多腔窄带滤光片由滤光片基底，以及分别设置在滤光片基底两面的特性相同的反射膜系构成；

所述滤光片基底为HB850颜色玻璃，用于截止掉810nm以下的光谱；

长波带通滤光膜，所述长波带通滤光膜镀制在所述F-P型多腔窄带滤光片的外侧，用于将800nm～970nm波段的光能量截止掉。

基于本实用新型的用于1064nm的变角窄带滤光膜的另一个实施例中，所述长波带通滤光膜选取TaO₂和SiO₂材料。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型技术固化工艺后，形成的薄膜产品针对1064nm激光工作波长，具备膜层均匀性好，高峰值透过率大于90％，高带外抑制比小于1/1000，中心波长稳定性好，可变角度范围为0°-20°，膜层损耗及应力小、牢固度高等优点。

在入射角为0°时，其性能参数为：λ＝1064±3nm，峰值透过率T％>85％，半波带宽HBW＝70nm±5nm，700-1000nm和1165-1250nm，平均透过率T％<2％；

在入射角为20°时，其性能参数为：λ＝1064±3nm，峰值透过率T％>85％，半波带宽HBW＝70nm±5nm，700-980nm和1149-1250nm，平均透过率T％<2％。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例，并且连同描述一起用于解释本实用新型的原理。

参照附图，根据下面的详细描述，可以更加清楚地理解本实用新型，其中：

图1为本实用新型的用于1064nm的变角窄带滤光膜的一个实施例的结构示意图。

图2为本实用新型的用于1064nm的变角窄带滤光膜的制造工艺的一个实施例的流程图。