[实用新型]一种硅片切割液冷却装置

说明书

一种硅片切割液冷却装置，该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口。该装置简单实用、冷却效率高，能够将使用后的硅片切割液进行集中冷却处理、冷却效果好，有效的保证了硅片切割的正常进行。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置，特别是一种硅片切割液冷却装置。

背景技术

目前，在硅片切割过程中，切割线与硅块之间高速摩擦，会产生大量的热量，需要进行喷洒切割液进行降温增效，切割液经过与硅块接触后会吸热升温，不能立刻进行再次使用，必须进行冷却降温后才可再循环使用。

但是，现有技术中，一般都是通过冷却水来对切割液进行换热降温，由于使用过后的切割液内或含有切割杂削，并且冷却水换热中，冷却水会与切割液接触不充分，冷却效果不佳，达不到预期效果。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种设计合理、冷却效果好、冷却效率高的硅片切割液冷却装置。

本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种硅片切割液冷却装置，该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口；该装置还包括切割液收集槽，螺旋出液管均与切割液收集槽连通，切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过导液管与切割液收集槽的下部连通。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液冷却装置，所述切割液喷头上安装有升降电机，支撑柱上竖向设置有与升降电机配合的升降槽。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液冷却装置，所述旋转升降机构包括旋转电机和升降气缸，升降气缸固定安装在硅片切割机上，旋转电机安装在升降气缸的输出端，支撑柱安装在旋转电机的输出端。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液冷却装置，所述切割液喷头设有4个，4个切割液喷头沿支撑柱的周向均匀设置。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液冷却装置，所述切割液过滤筒内设置有一个独立的过滤腔室，过滤腔室的底部设有与切割过滤筒连通的进液口，过滤腔室上部的侧部设有将切割液排出切割液过滤筒的出液口，过滤腔室的中部横向设置有切割液过滤网。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液冷却装置，所述切割液过滤网设有3个，3层切割液过滤网上下层叠设置，3层切割液过滤网的网孔由下至上依次减小。

与现有技术相比，本实用新型通过旋转升降机构带动切割液喷头上下移动的同时旋转喷射切割液，使得切割液喷洒的更加均匀，便于充分配合切割线切割硅片，并将产生的热量进行吸收；向下流入收集斗的切割液先通过切割液过滤筒将夹杂的固体杂削分离，再分散进入螺旋出液管，然后鼓风机对其进行吹风降温，有效的降低了切割液的温度，便于下一步进行集中回收、循环再利用。该装置简单实用、冷却效率高，能够将使用后的硅片切割液进行集中冷却处理、冷却效果好，有效的保证了硅片切割的正常进行。

附图说明