[实用新型]一种真空石墨夹具

权利要求书

1.一种真空石墨夹具，其特征在于：包括由上而下依次固连的石墨板、均气板和导气板，所述均气板的顶端设置有若干个相互独立且封闭的凹槽单元，所述凹槽单元包括若干条相互连通的凹槽，每个所述凹槽单元中均设置有与所述凹槽连通的第一导气孔，所述导气板上设置有顶端与所述第一导气孔相通的第二导气孔，在所述导气板中每个所述第二导气孔均连通有一个导气槽；还包括连通有接气管的真空泵，每个所述导气槽均与所述接气管连通。

2.根据权利要求1所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述导气槽一端与所述第二导气孔连通，另一端与位于所述导气板侧壁上的通气孔连通，所述通气孔另一端通过连接接头连接有连接管，所述连接管另一端与所述接气管连通。

3.根据权利要求2所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述连接管上设置有球阀。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述导气板的顶端设置有位于所有第二通气孔外围的、首尾连通的密封槽。

5.根据权利要求4所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述均气板底端设置有一圈与所述密封槽吻合的凸起。

6.根据权利要求5所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述均气板和导气板均为电木板。

7.根据权利要求1所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述凹槽单元、第一导气孔和第二导气孔均为6个。

8.根据权利要求1所述的真空石墨夹具，其特征在于：所述石墨板通过螺钉固定在所述均气板上，所述均气板与所述导气板通过螺钉连接。

9.根据权利要求1所述的真空石墨夹具，其特征在于：不同的所述导气槽相互独立且封闭。