[实用新型]一种深孔镀膜注塑料筒有效
申请号: | 201820406084.2 | 申请日: | 2018-03-23 |
公开(公告)号: | CN208201091U | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 陈君;乐务时 | 申请(专利权)人: | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/48 |
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地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 深孔 注塑料筒 离子 孔深 体内 表面处理技术 交流电场作用 交流偏压电源 真空压力控制 本实用新型 平均自由程 变化频率 带电粒子 镀膜空间 厚度不均 离子镀膜 深孔工件 深孔零件 涂层加工 正负脉冲 镀膜层 中深孔 自由程 沉积 内壁 推斥 淹没 应用 吸引 交流 | ||
本实用新型涉及一种深孔镀膜注塑料筒,属于表面处理技术领域,它解决了现有技术中深孔镀膜厚度不均的问题。本深孔镀膜注塑料筒,包括具有深孔的本体,其特征在于,所述的本体内孔的孔深/孔径大于等于1.5,所述的本体内孔的内壁通过离子镀膜形成镀膜层。本深孔镀膜注塑料筒采用PVD技术对深孔工件内部进行镀膜,采用交流偏压电源,带电粒子在工件交流电场作用下,一会被吸引沉积,一会被推斥运动,控制交流变化频率和正负脉冲比例,可以实现不同孔深的涂层加工,镀膜时真空压力控制在0.1‑2pa之间,目的是让离子自由程足够大,工艺中离子平均自由程最小100cm,可以运动到整个镀膜空间,工件淹没在镀膜离子里,实现PVD应用于深孔零件中。
技术领域
本实用新型属于表面处理技术领域,涉及一种表面处理技术,特别是一种深孔镀膜注塑料筒。
背景技术
PVD是一种应用非常广泛的表面处理和薄膜制备技术,大量应用在航空航天、医疗、食品、智能设备和机械制造领域,具体分为三种技术方式实现,蒸发、溅射和离子镀膜。PVD与CVD、水电镀相比,主要缺点是对于孔内镀膜能力有限,大量研究和生产实践证明,PVD对于孔件内孔可镀入深度为孔径的1-1.5倍,这限制了PVD在有孔内镀膜需求的应用。
离子镀膜过程中,在工件周围存在大量带电离子,这些带电离子在工件负电场的作用下,运动到工件表面沉积成膜。镀膜过程中,气体的运动以分子流为主,伴有粘滞流,孔内进入离子的数量减少,加之孔壁的负电场作用,随着孔深度增加,离子越来越少,这是导致不能对深孔进行有效镀膜的原因。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种针对深孔件进行离子镀膜的方法,形成内孔涂层的注塑料筒。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种深孔镀膜注塑料筒,包括具有深孔的本体,其特征在于,所述的本体内孔的孔深/孔径大于等于1.5,所述的本体内孔的内壁通过离子镀膜形成镀膜层。
在料筒内壁通过离子镀膜形成镀膜层后,可有效改进料筒的耐磨性、硬度等性能,有效提高工件使用寿命。
在上述的深孔镀膜注塑料筒中,所述的镀膜层为氮化钛涂层。根据工件的不同的性能要求,还可采用不同原子和镀膜条件形成不同功能的镀膜层。
在上述的深孔镀膜注塑料筒中,所述的膜层厚度为1-10μm。
在上述的深孔镀膜注塑料筒中,所述的镀膜层位于内孔前端与后端之间厚度差≤50%。
在上述的深孔镀膜注塑料筒中,所述的离子镀膜采用交流偏压电源,频率1kHZ到40kHZ,正负脉冲各占50%周期宽度,电压10-500V。
在上述的深孔镀膜注塑料筒中,所述的离子镀膜时充入工艺气体氮气,压力控制在0.1-1.0pa。
与现有技术相比,本深孔镀膜注塑料筒采用PVD技术对深孔工件内部进行镀膜,采用交流偏压电源,带电粒子在工件交流电场作用下,一会被吸引沉积,一会被推斥运动,控制交流变化频率和正负脉冲比例,可以实现不同孔深的涂层加工,镀膜时真空压力控制在0.1-1pa之间,目的是让离子自由程足够大,工艺中离子平均自由程最小100cm,可以运动到整个镀膜空间,工件淹没在镀膜离子里,实现PVD应用于深孔零件中。
附图说明
图1是本深孔镀膜注塑料筒离子镀膜方式与现有技术对比图;
图2是本深孔镀膜注塑料筒的剖视结构示意图。
图中,1、本体;2、镀膜层。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。
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