[实用新型]一种真空镀膜机的蒸发舟

说明书

为了解决现有的真空镀膜机的蒸发舟结构较为复杂，且两端的电极较大，使得造价成本高，但是两端的电极均为薄片型，使得两端的电极的使用寿命不长，容易破损的问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的蒸发舟，其采用第一挡板、第二挡板和基座配合起来用于固定镀膜载体，同时在蒸发舟的第一电极和第二电极上分别设有凹槽，这样，不但可以有效固定镀膜载体，同时该蒸发舟可以一次成型，结构简单。同时，由于第一电极和第二电极上的凹槽的结构，使得该蒸发舟的两个电极的强度提升了一倍以上，电极的使用寿命增加。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，具体的涉及到一种用于真空镀膜机的真空镀膜机的蒸发舟。

背景技术

真空镀膜机是指在较高的真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。

现有技术中的蒸发周结构，例如，申请号为200720094316.7专利的背景技术中记载的一种现有的蒸发舟的结构，在电极的中间有一个凹坑，就在这个凹坑中加上所要蒸发的材料，将其夹放在真空室的热蒸发电极上，真空室的真空度已达到所要蒸发的程度时，蒸发舟底部的材料先受热蒸发，在经过上层材料的过程中可能导致化学材料发生化学变化，影响材料的纯度。

为了解决上述问题，申请号为200720094316.7的专利提出了一种改进的加热蒸发舟，该蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片，加热片的中间均匀分布小孔，第二部分是带有挂槽的挂盒，在挂盒内部配备有耐高温、导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”，用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。该加热蒸发舟通过使上层的材料先受热蒸发，进而减少材料蒸发过程中发生的化学变化，但是这样结构的加热蒸发舟还存在的问题在于：1、挂盒本身温度较低，在加热片上加热蒸发的材料有部分会在真空环境下扩散并附着在挂盒上，影响了材料的蒸发效果；2、挂盒和加热片需要不同材料分别加工，挂盒和加热片的结构比较复杂，加工成本较高。

于是申请号为201320723278.2的专利提出了一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括舟体和位于舟体两端的电极，舟体上具有辅助加热片，辅助加热片与舟体形成用于放置蒸发原料的容纳空间，加热片的底部部分或者全部与舟体相连，蒸发舟和辅助加热片采用导电材料制成。该真空镀膜机的蒸发舟虽然解决了以上问题，但是辅助的加热片为分体结构，结构较为复杂。且两端的电极较大，使得造价成本高，但是两端的电极均为薄片型，使得两端的电极的使用寿命不长，容易破损。

实用新型内容

为了解决以上问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的蒸发舟，其采用第一挡板、第二挡板和基座配合起来用于固定镀膜载体，同时在蒸发舟的第一电极和第二电极上分别设有凹槽，这样，不但可以有效固定镀膜载体，同时该蒸发舟可以一次成型，结构简单。同时，由于第一电极和第二电极上的凹槽的结构，使得该蒸发舟的两个电极的强度提升了一倍以上，电极的使用寿命增加。

一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括：第一电极(1)、第二电极(2)、第一挡板(3)、基座(4)、第二挡板(5)、凹槽(6)，其特征在于：第一电极(1)和第二电极(2)的一端分别与两个平行的第二挡板(5)相连，第二挡板(5)与第一电极(1)和第二电极(2)分别互相垂直，两个平行的第二挡板(5)分别与基座(4)垂直连接，基座(4)分别与n型的第一挡板(3)垂直相连，第一电极(1)与第二电极(2)上均设有设有长方形凹槽(6)。

进一步的，所述的真空镀膜机的蒸发舟采用高熔点的金属材料制成。

更进一步优选的，所述的真空镀膜机的蒸发舟采用不锈钢、金属钨或者钛合金。

进一步的，所述的第一电极(1)和第二电极(2)均为长方形，长度为50mm～80mm，宽度为3mm～5mm。

进一步的，所述的第一电极(1)和第二电极(2)与第二挡板(5)垂直连接，且连接处采用圆形倒角。